[实用新型]一种硅片自动涂源生产线

权利要求书

1.一种硅片自动涂源生产线，其特征在于：包括涂硼装置、第一烘干炉、涂磷装置、第二烘干炉和洒粉单元，所述涂硼装置与所述第一烘干炉之间、所述第一烘干炉与所述涂磷装置之间、所述涂磷装置与所述第二烘干炉之间、所述第二烘干炉与所述洒粉单元之间均设有第一转运机械手，所述第一烘干炉的下游一端设有硅片翻转机构。

2.根据权利要求1所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：还包括上料线，所述上料线与所述涂硼装置之间设有第二转运机械手，所述上料线包括满载上料线、第一硅片承载装置翻转机构和空载流出线，所述第一硅片承载装置翻转机构设于所述满载上料线的下游一端。

3.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：还包括下料线，所述下料线与所述洒粉单元之间设有第三转运机械手，所述下料线包括空载流入线、满载流出线和第二硅片承载装置翻转机构，所述空载流入线的下游一端与所述满载流出线的上游一端之间设有移动轴，所述第二硅片承载装置翻转机构可移动设于所述移动轴上。

4.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述涂硼装置包括第一机台、第一喷嘴、第一托盘、第一升降机构和第一旋转机构，所述第一托盘底部与所述第一升降机构的升降轴连接，所述第一升降机构的底部与所述第一旋转机构的旋转轴连接，所述第一旋转机构固定于所述第一机台上，所述第一喷嘴设于所述第一托盘上方。

5.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述涂磷装置包括第二机台、第二喷嘴、第二托盘、第二升降机构和第二旋转机构，所述第二托盘底部与所述第二升降机构的升降轴连接，所述第二升降机构的底部与所述第二旋转机构的旋转轴连接，所述第二旋转机构固定于所述第二机台上，所述第二喷嘴设于所述第二托盘上方。

6.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述洒粉单元包括第三机台、第三托盘、第三升降机构和震动洒粉单元，所述第三升降机构设于所述第三机台上，所述第三升降机构的升降轴与所述第三托盘底部连接，所述震动洒粉单元设于所述第三托盘上方。

7.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述第一烘干炉包括第一炉体和第一传送带，所述第一传送带设于所述第一炉体内，所述第一炉体上设有第一送风马达和第一排风马达。

8.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述第二烘干炉包括第二炉体和第二传送带，所述第二传送带设于所述第二炉体内，所述第二炉体上设有第二送风马达和第二排风马达。

9.根据权利要求2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述涂硼装置与所述上料线之间还设有第一碎片筛选装置，所述第一碎片筛选装置包括来料提升机、第一光源、第一图像采集装置和第一碎片收集盒，所述来料提升机设于所述第一硅片承载装置翻转机构翻转之后的下游一端，所述来料提升机与所述第一碎片收集盒之间设有第四转运机械手。

10.根据权利要求1或2所述的硅片自动涂源生产线，其特征在于：所述硅片翻转机构与所述涂磷装置之间还设有第二碎片筛选装置，所述第二碎片筛选装置包括第二光源、第二图像采集装置和第二碎片收集盒，所述硅片翻转机构与所述第二碎片收集盒之间设有第五转运机械手。