[实用新型]一种多晶硅还原炉有效

专利信息
申请号: 201721236023.8 申请日: 2017-09-25
公开(公告)号: CN207330377U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 徐小萍;何其金;迮德娟;张靖;方艺霖;何飞 申请(专利权)人: 江苏康博新材料科技有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035;C01B33/03
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 225600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 还原
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉,包括冷却水进口(1)、炉体(2)、冷却层(3)、硅棒(4)、电极(5)、进料喷嘴(6)、冷却水出口(7)、底座(8)、轴承(9)、滑扣(10)、方形槽(11)、圆形槽(12),其特征在于:所述炉体(2)顶部设有所述冷却水进口(1),底部一侧设有所述冷却水出口(7),所述炉体(2)内侧设有所述冷却层(3),所述冷却层(3)中通入循环冷却水,所述炉体(2)置于所述底座(8)上,所述底座(8)中心设有所述电极(5),所述电极(5)上设有所述硅棒(4),所述电极(5)内部设有所述方形槽(11)和圆形槽(12),所述方形槽(11)设于所述圆形槽(12)上方,所述硅棒(4)底部设有所述轴承(9),所述轴承(9)连接所述滑扣(10),所述滑扣(10)可以旋转,所述电极(5)四周等距离设置若干所述进料喷嘴(6),所述进料喷嘴(6)穿过所述底座(8)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉,其特征在于:所述滑扣(10)的体积略小于所述方形槽(11)的体积,所述滑扣(10)的厚度略小于所述圆形槽(12)的厚度。

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