[实用新型]一种多晶硅还原炉有效
| 申请号: | 201721236023.8 | 申请日: | 2017-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN207330377U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
| 发明(设计)人: | 徐小萍;何其金;迮德娟;张靖;方艺霖;何飞 | 申请(专利权)人: | 江苏康博新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;C01B33/03 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 225600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 还原 | ||
1.一种多晶硅还原炉,包括冷却水进口(1)、炉体(2)、冷却层(3)、硅棒(4)、电极(5)、进料喷嘴(6)、冷却水出口(7)、底座(8)、轴承(9)、滑扣(10)、方形槽(11)、圆形槽(12),其特征在于:所述炉体(2)顶部设有所述冷却水进口(1),底部一侧设有所述冷却水出口(7),所述炉体(2)内侧设有所述冷却层(3),所述冷却层(3)中通入循环冷却水,所述炉体(2)置于所述底座(8)上,所述底座(8)中心设有所述电极(5),所述电极(5)上设有所述硅棒(4),所述电极(5)内部设有所述方形槽(11)和圆形槽(12),所述方形槽(11)设于所述圆形槽(12)上方,所述硅棒(4)底部设有所述轴承(9),所述轴承(9)连接所述滑扣(10),所述滑扣(10)可以旋转,所述电极(5)四周等距离设置若干所述进料喷嘴(6),所述进料喷嘴(6)穿过所述底座(8)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉,其特征在于:所述滑扣(10)的体积略小于所述方形槽(11)的体积,所述滑扣(10)的厚度略小于所述圆形槽(12)的厚度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏康博新材料科技有限公司,未经江苏康博新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721236023.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多插片大电流连接端子
- 下一篇:一种便于上料的桌板放置架





