[实用新型]抑制极电源及离子注入机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体元器件生产技术领域，尤其是涉及一种抑制极电源及离子注入机。

背景技术

随着半导体领域的飞速发展，半导体元器件越来越精密，其中离子注入机是半导体领域的关键设备。半导体元器件离子注入过程中，抑制极电源在注入机的终端法拉第线性加速器中起着抑制二次电子和隔离高能量连锁的作用，对电源电压质量要求较高，如果抑制极电源质量不好，直接影响注入机故障频率和生产效率。由于350D/CF3000/300XP/CF5型注入机生产年代较早，抑制极电源在设计上采用一体油浸变压包，使在长时间工作后，易造成变压包体鼓包漏油，内部损毁，导致设备异常停机，而设备工程师不能独自完成维修，需要专业厂家维修，维修成本高，周期长，严重影响注入机生产效率。

针对现有技术中作为抑制极电源的一体油浸变压包存在的容易损坏的问题，目前尚未提出有效解决方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种抑制极电源及离子注入机，散热性能好且运行安全可靠。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种抑制极电源，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；电源电路固定设置于电源箱体内；

电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；

交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；滤波电路的输出端输出直流高压；

保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；

联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，电源箱体包括箱体盒和底部的底板，电源电路固定设置于箱体盒内壁板上。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，交流升压变压器是干式变压器，干式变压器固定于箱体盒的上端；

在箱体盒侧壁板上均匀分布多个孔位，多个功率电阻通过绝缘柱分别固定在孔位内；

固态继电器和滤波电路的滤波电容固定于箱体盒内顶壁。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，电源箱体下端的壁板上安装有插头，插头用于与离子注入机的电源控制装置连接。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，电源箱体左右任一侧的壁板设置有输出孔，高压输出线由输出孔穿出用于向离子注入机供电。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，电源电路还包括指示电路；指示电路与交流升压变压器的输入侧，用于指示抑制极电源的工作状态。

结合第一方面的第五种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，指示电路包括电源指示灯。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第七种可能的实施方式，电源电路还包括熔断器；熔断器设置于交流升压变压器的输入侧与交流电源之间。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，底板为绝缘材料制成。

第二方面，本实用新型实施例还提供一种离子注入机，包括第一方面及其各可能实施方式之一提供的抑制极电源，还包括离子源、质量分析器、加速器、透镜和靶室；抑制极电源与加速器连接。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：

本实用新型实施例提供的抑制极电源及离子注入机，电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源；可以提供平滑稳定可靠电压，具有体积小、重量轻、结构紧凑，发热量小的特点，工作时不用单独降温系统，自然降温即可，维护简单且使用安全。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明