[实用新型]抑制极电源及离子注入机

权利要求书

1.一种抑制极电源，其特征在于，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；所述电源电路固定设置于所述电源箱体内；

所述电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；

所述交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；所述交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；所述滤波电路的输出端输出直流高压；

所述保护电路包括接地的保护电阻；所述输出端与所述保护电阻连接；

所述联锁电路与所述输出端连接，包括固态继电器，所述固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。

2.根据权利要求1所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源箱体包括箱体盒和底板，所述电源电路固定设置于所述箱体盒内壁板上。

3.根据权利要求2所述的抑制极电源，其特征在于，所述交流升压变压器是干式变压器，所述干式变压器固定于所述箱体盒的上端；

在所述箱体盒侧壁板上均匀分布多个孔位，多个功率电阻通过绝缘柱分别固定在所述孔位内；

所述固态继电器和所述滤波电路的滤波电容固定于所述箱体盒内顶壁。

4.根据权利要求2所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源箱体下端的所述壁板上安装有插头，所述插头用于与所述离子注入机的电源控制装置连接。

5.根据权利要求2所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源箱体左右任一侧的所述壁板设置有输出孔，高压输出线由所述输出孔穿出用于向所述离子注入机供电。

6.根据权利要求1所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源电路还包括指示电路；所述指示电路与所述交流升压变压器的输入侧，用于指示所述抑制极电源的工作状态。

7.根据权利要求6所述的抑制极电源，其特征在于，所述指示电路包括电源指示灯。

8.根据权利要求1所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源电路还包括熔断器；所述熔断器设置于所述交流升压变压器的输入侧与所述交流电源之间。

9.根据权利要求2所述的抑制极电源，其特征在于，所述底板为绝缘材料制成。

10.一种离子注入机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的抑制极电源，还包括离子源、质量分析器、加速器、透镜和靶室；所述抑制极电源与所述加速器连接。