[实用新型]定位设备

权利要求书

1.一种工件定位设备(1、2)，包括用于定位工件的定位装置以及用于去耦存贮该定位装置的去耦装置(20)，其中该去耦装置包括载具组件(21)和基座组件(22)，该定位装置被配置于该载具组件(21)上，该基座组件(22)用于支持该载具组件(21)，

其特征在于，为使该定位装置施加在该基座组件(22)上的动态作用力去耦，该基座组件(22)支持该载具组件(21)，以滑动方式至少在一定范围中自由地移动。

2.如权利要求1所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该基座组件(22)支持该载具组件(21)，以基本无反作用力地移动。

3.如权利要求1或2所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该载具组件(21)由流体膜支持在该基座组件(22)上。

4.如权利要求3所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该载具组件(21)由液膜、润滑剂膜、油膜、气膜和/或空气膜而支持在该基座组件(22)上。

5.如权利要求3所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，将一个以上的流体膜存贮装置(30)配置在该载具组件(21)与该基座组件(22)之间。

6.如权利要求5所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，每个流体膜存贮装置配置在该载具组件(21)面对该基座组件(22)的侧面(23)上和/或该基座组件(22)面对该载具组件(21)的侧面(24)上。

7.如权利要求5所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，每个流体膜存贮装置为气垫存贮装置。

8.如权利要求1或2所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置包括静止部件(11)以及相对于该静止部件(11)可移动的至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)，其中该定位装置的所述至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)的质量对该载具组件(21)与该定位装置的静止部件(11)的总体质量的比例为至少1/5。

9.如权利要求1或2所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置包括静止部件(11)以及相对于该静止部件(11)可移动的至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)，其中该定位装置的所述至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)的质量对该载具组件(21)与该定位装置的静止部件(11)的总体质量的比例为至少1/10。

10.如权利要求1或2所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置包括静止部件(11)以及相对于该静止部件(11)可移动的至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)，其中该定位装置的所述至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)的质量对该载具组件(21)与该定位装置的静止部件(11)的总体质量的比例为至少1/20。

11.如权利要求1或2所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置包括静止部件(11)以及相对于该静止部件(11)可移动的至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)，其中该定位装置的所述至少一个可动部件(12、13、15、16、17、18、19、31、32)的质量对该载具组件(21)与该定位装置的静止部件(11)的总体质量的比例为至少1/25。

12.如权利要求1所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置被构造为，沿至少一个线性轴(x)定位该工件。

13.如权利要求12所述的工件定位设备(1、2)，其特征在于，该定位装置被构造为，沿两个线性轴(x、y)或沿三个线性轴(x、y、z)定位该工件。