[实用新型]玻璃基板检查系统有效
| 申请号: | 201721216634.6 | 申请日: | 2017-09-21 | 
| 公开(公告)号: | CN207163926U | 公开(公告)日: | 2018-03-30 | 
| 发明(设计)人: | 郭向阳;刘文泰;刘立;郭锋;彭飞 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 | 
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 | 
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 魏嘉熹,南毅宁 | 
| 地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 检查 系统 | ||
1.一种玻璃基板检查系统,其特征在于,所述系统包括:
夹持装置,用于在玻璃基板的检查过程中夹持待检查的玻璃基板;
至少两个检查模块,用于对所述玻璃基板进行缺陷检查,并将所述至少两个检查模块的至少两个检查结果发送给信息处理模块;
所述信息处理模块,用于接收所述至少两个检查结果,并根据所述至少两个检查结果判断得到所述玻璃基板的最终检查结果。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述夹持装置包括外夹持架、内夹持架、连接所述外夹持架和所述内夹持架的旋转件,其中,所述玻璃基板被可拆卸地夹持于所述内夹持架上,所述内夹持架能够通过所述旋转件相对于所述外夹持架旋转。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述内夹持架能够通过所述旋转件相对于所述外夹持架旋转至任意角度且在任意角度固定。
4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述外夹持架、所述内夹持架和所述旋转件分别上下成对设置。
5.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述外夹持架底部设置有滚轮。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述检查模块之一为距离检测模块,其通过测量距离所述玻璃基板的表面的距离来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述检查模块之一为图像检测模块,其通过拍摄所述玻璃基板表面的图像并对所述图像进行分析,来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述检查模块之一为光学检测模块,其通过向所述玻璃基板的表面照射检查光,然后对接收到的散射回来的散射光进行分析,来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统还包括显示模块,用于显示所述信息处理模块得到的最终检查结果。
10.根据权利要求9所述的系统,其特征在于,所述显示模块以文字、图像、灯光中任意一种或多种形式来显示所述信息处理模块得到的最终检查结果。
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