[实用新型]玻璃基板检查系统有效
| 申请号: | 201721216634.6 | 申请日: | 2017-09-21 |
| 公开(公告)号: | CN207163926U | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
| 发明(设计)人: | 郭向阳;刘文泰;刘立;郭锋;彭飞 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 魏嘉熹,南毅宁 |
| 地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 检查 系统 | ||
技术领域
本公开涉及玻璃基板领域,具体地,涉及一种玻璃基板检查系统。
背景技术
现有技术中,对玻璃基板进行检查的装置通常只是单一的一种,例如,对需要检查的玻璃基板进行图像扫描,然后对扫描得到的图像进行分析判断所述玻璃基板是否有缺陷等。单一的缺陷检查装置不能保障检查足够的准确率,会导致有些玻璃基板的缺陷检查不出来,或在玻璃基板没有缺陷时误查出缺陷,导致对接下来的工序造成影响。
实用新型内容
本公开的目的是提供一种玻璃基板检查系统,该系统能够通过至少两种玻璃基板检查方法来对玻璃基板进行缺陷检查,提高了玻璃基板的缺陷检查准确率,提高了工作效率。
为了实现上述目的,本公开提供一种玻璃基板检查系统,所述系统包括:
夹持装置,用于在玻璃基板的检查过程中夹持待检查的玻璃基板;
至少两个检查模块,用于对所述玻璃基板进行缺陷检查,并将所述至少两个检查模块的至少两个检查结果发送给信息处理模块;
所述信息处理模块,用于接收所述至少两个检查结果,并根据所述至少两个检查结果判断得到所述玻璃基板的最终检查结果。
可选的,所述夹持装置包括外夹持架、内夹持架、连接所述外夹持架和所述内夹持架的旋转件,其中,所述玻璃基板被可拆卸地夹持于所述内夹持架上,所述内夹持架能够通过所述旋转件相对于所述外夹持架旋转。
可选的,所述内夹持架能够通过所述旋转件相对于所述外夹持架旋转至任意角度且在任意角度固定。
可选的,所述外夹持架、所述内夹持架和所述旋转件分别上下成对设置。
可选的,所述外夹持架底部设置有滚轮。
可选的,所述检查模块之一为距离检测模块,其通过测量距离所述玻璃基板的表面的距离来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
可选的,所述检查模块之一为图像检测模块,其通过拍摄所述玻璃基板表面的图像并对所述图像进行分析,来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
可选的,所述检查模块之一为光学检测模块,其通过向所述玻璃基板的表面照射检查光,然后对接收到的散射回来的散射光进行分析,来判断所述玻璃基板是否有缺陷,从而得到检查结果。
可选的,所述系统还包括显示模块,用于显示所述信息处理模块得到的最终检查结果。
可选的,所述显示模块以文字、图像、灯光中任意一种或多种形式来显示所述信息处理模块得到的最终检查结果。
通过上述技术方案,采用至少两种检查装置来对玻璃基板进行缺陷检查,能够提高玻璃基板的缺陷检查准确率,提高了工作效率。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:
图1是根据一示例性实施例示出的玻璃基板检查系统的示意图。
图2是根据一示例性实施例示出的玻璃基板检查系统中夹持装置的示意图。
图3是根据又一示例性实施例示出的玻璃基板检查系统的示意图。
附图标记说明
10夹持装置 201第一检查模块
202第二检查模块30信息处理模块
40显示模块 101外夹持架
102内夹持架103旋转件
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
图1是根据一示例性实施例示出的玻璃基板检查系统的示意图。如图1所示,所述系统包括:
夹持装置10,用于在玻璃基板的检查过程中夹持待检查的玻璃基板,使得所述玻璃基板能够满足检查模块对其的姿态要求。
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