[实用新型]反应釜气体分布器

权利要求书

1.一种反应釜气体分布器，其特征在于：包括进气管(1)、上盖板(2)、缓冲室(4)、下盖板(6)、通气管(7)和连接管(9)，所述上盖板(2)与下盖板(6)上均分布有若干气孔(3)，所述上盖板(2)设置在缓冲室(4)的顶部，所述下盖板(6)设置在缓冲室(4)的底部，所述缓冲室(4)是由缓冲室侧壁(41)、以及顶部的上盖板(2)和底部的下盖板(6)围成的空间，所述缓冲室侧壁(41)上设置有若干个缓冲孔(5)；所述上盖板(2)的中心连接有进气管(1)，所述进气管(1)与缓冲室(4)连通；所述缓冲室(4)下方的下盖板(6)上设置有若干通气管(7)，所述通气管(7)与缓冲室(4)连通，所述通气管(7)通过连接管(9)连接有泡帽(8)，所述泡帽(8)上沿圆周方向设置有若干个排气孔(81)。

2.如权利要求1所述的一种反应釜气体分布器，其特征在于：所述缓冲室侧壁(41)包括若干个“V”形的隔板(411)和连接板(412)，隔板(411)之间通过连接板(412)连接，所述缓冲孔(5)设置在隔板(411)上。

3.如权利要求2所述的一种反应釜气体分布器，其特征在于：所述缓冲室4是包括六个相同隔板(411)和六个连接板(412)。

4.如权利要求3所述的一种反应釜气体分布器，其特征在于：所述泡帽(8)的形状为伞形，所述泡帽(8)中心截面的顶角为a，所述顶角a的角度范围为90°至120°。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的一种反应釜气体分布器，其特征在于：所述排气孔(81)的直径范围为1mm～2mm。