[实用新型]内孔检测光学系统及内孔检测设备

权利要求书

1.一种内孔检测光学系统，用于检测工件，其特征在于，所述内孔检测光学系统包括成像棱镜(100)、分光镜(200)、感光成像元件(400)和光源(500)；

所述成像棱镜(100)、分光镜(200)、感光成像元件(400)依次间隔设置，所述成像棱镜(100)临近所述工件设置；

所述光源(500)发出的出射光经所述分光镜(200)反射至所述成像棱镜(100)，经由所述成像棱镜(100)照射至工件，所述工件反射图像信息经由所述成像棱镜(100)、穿过所述分光镜(200)后在所述感光成像元件(400)中成像。

2.如权利要求1所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述成像棱镜(100)和所述分光镜(200)之间还设置有聚焦镜(600)，所述聚焦镜(600)正对所述工件的待检测部位设置。

3.如权利要求2所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述分光镜(200)和所述感光成像元件(400)之间还设置有缩放透镜组(300)，所述缩放透镜组(300)正对所述感光成像元件(400)。

4.如权利要求3所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述缩放透镜组(300)包括第二凸透镜(310)和第三凸透镜(320)，所述第二凸透镜(310)临近所述分光镜(200)，所述第三凸透镜(320)位于所述第二凸透镜(310)与所述感光成像元件(400)之间，所述第二凸透镜(310)和所述第三凸透镜(320)共焦设置，所述第二凸透镜(310)和所述第三凸透镜(320)的焦距不相等。

5.如权利要求1至4任一项所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述成像棱镜(100)包括入射面(110)和出射面(120)，所述入射面(110)朝向所述分光镜(200)设置，所述出射面(120) 朝向所述工件设置，所述入射面(110)和所述出射面(120)垂直于所述光源(500)发出并经所述分光镜(200)反射的光线设置。

6.如权利要求5所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述成像棱镜(100)还包括第一侧面(130)和第二侧面(140)，所述第一侧面(130)与所述入射面(110)连接，所述第二侧面(140)连接所述第一侧面(130)和所述出射面(120)，所述入射面(110)的面积大于所述出射面(120)的面积，所述第二侧面(140)倾斜设置。

7.如权利要求1至4任一项所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述成像棱镜(100)贯穿设有光通道(170)，所述光通道(170)靠近所述分光镜(200)的一端设有入射口(150)、靠近所述工件的一端设有出射口(160)，所述光源(500)发出并经所述分光镜(200)反射的光线顺次经过所述入射口(150)、所述光通道(170)和所述出射口(160)照射到所述工件的待测位置。

8.如权利要求7所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述成像棱镜(100)包括第一内表面(171)和第二内表面(172)，所述光通道(170)由所述第一内表面(171)和所述第二内表面(172)围合而成，所述第一内表面(171)连接所述入射口(150)和所述第二内表面(172)，所述第二内表面(172)连接所述第一内表面(171)和所述出射口(160)，所述第二内表面(172)倾斜设置。

9.如权利要求1至4任一项所述的内孔检测光学系统，其特征在于，所述光源(500)包括第一凸透镜(510)和点光源(520)，所述第一凸透镜(510)设于所述点光源(520)和所述分光镜(200)之间，所述点光源(520)发出的光经由所述第一凸透镜(510)汇聚至所述分光镜(200)后，经由所述成像棱镜(100)反射至所述工件。

10.一种内孔检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的内孔检测光学系统。