[实用新型]一种高精密升降平台

权利要求书

1.一种高精密升降平台，可实现高精密升降平台的精确和平稳升降，该高精密升降平台包括一方形板状的底座及一方形板状的顶板；其特征在于：

高精密升降平台进一步包括一直线电机由一固定在顶板下方的动子座、一固定于所述动子座上的动子、一固定在所述底座上的定位座及一固定在所述定位座上与动子相互配的定子组成；

所述动子座上固定有至少一滑块，所述定位座相对的两侧面上均固定有至少一与所述滑块相互滑动配合的导轨，所述滑块与所述导轨组成滑块组；

一固定在所述滑块上的读头固定，且该读头固定上固定有一读头；

一固定在所述底座上的侧板，该侧板上安装有用于读头获取直线电机上下运动位移数据的栅尺。

2.如权利要求1所述的一种高精密升降平台，其特征在于：一相对所述动子座固定于所述顶板下方的辅助板，安装完成后，所述动子座与所述辅助板居于所述定位座相对的两侧，且所述辅助板上固定有至少一滑块，该滑块与固定于所述定位座的一侧面上的导轨相互配合。

3.如权利要求2所述的一种高精密升降平台，其特征在于：所述底座上至少安装有两弹簧，其中一弹簧顶端与所述动子座的下端相对而置，另一弹簧的顶端与所述辅助板的下端相对而置。

4.如权利要求2所述的一种高精密升降平台，其特征在于：一限位板固定于所述辅助板的一侧面上，该限位板上安装固定有一限位开关。

5.如权利要求4所述的一种高精密升降平台，其特征在于：高精密升降平台进一步包括一控制单元，用于获取读头的数据，并根据升降需要启停所述直线电机以实现精确控制。

6.如权利要求5所述的一种高精密升降平台，其特征在于：高精密升降平台进一步包括一供电单元用于向所述动子和所述定子提供工作用电及所述控制单元的控制用电。