[实用新型]一种大存量硅片上片机构

权利要求书

1.一种大存量硅片上片机构，其特征在于，包括第一存片装置、第二存片装置、旋转上片装置、第一水平传送装置、第二水平传送装置、输送带装置；所述旋转上片装置安装于输送带装置上方；所述输送带装置的一端一侧设置第一水平传送装置、第一存片装置，另一侧设置第二水平传送装置、第二存片装置；所述第一存片装置、第二存片装置用于存放待上片的硅片，并分别将存放的硅片依次放至第一水平传送装置、第二水平传送装置；所述第一水平传送装置、第二水平传送装置用于将硅片移送至旋转上片装置下方；所述旋转上片装置用于将第一水平传送装置、第二水平传送装置上的硅片取放至输送带装置的一端；所述输送带装置将旋转上片装置放入其一端的硅片传输至其另一端的工位。

2.根据权利要求1所述的大存量硅片上片机构，其特征在于，所述第一存片装置、第二存片装置均包括倒L型存片架、至少两硅片承载台、四定位弹性皮带、升降移动单元；所述第一存片装置、第二存片装置的两倒L型存片架开口相向设置；所述硅片承载台垂直且间隔设置在升降移动单元上；所述升降移动单元沿倒L型存片架的竖端方向设置；所述四定位弹性皮带分别设置在倒L型存片架的横端开口一侧、倒L型存片架所在平面的两侧、倒L型存片架的竖端内侧，且四定位弹性皮带的一端均与倒L型存片架的横端可拆卸式连接。

3.根据权利要求2所述的大存量硅片上片机构，其特征在于，所述升降移动单元包括第一升降驱动电机、升降皮带、升降滑块；所述硅片承载台垂直设置在升降滑块上；所述第一升降驱动电机用于驱动升降皮带带动升降滑块沿倒L型存片架的竖端上下直线运动。

4.根据权利要求1所述的大存量硅片上片机构，其特征在于，所述旋转上片装置包括十字上片板、四个吸盘、第二升降驱动电机、旋转电机；所述四个吸盘分别安装于十字上片板四端的底部；所述第二升降驱动电机、旋转电机配合用于驱动十字上片板带动吸盘将第一水平传送装置或第二水平传送装置上的硅片取放至输送带装置上。

5.根据权利要求1所述的大存量硅片上片机构，其特征在于，所述第一水平传送装置、第二水平传送装置包括水平导轨、若干水平滑块、水平驱动气缸；所述水平驱动气缸驱动水平滑块沿水平导轨做往返直线运动。

6.根据权利要求1所述的大存量硅片上片机构，其特征在于，所述输送带装置包括输送带、输送带电机；所述输送带电机用于驱动输送带运动。