[实用新型]硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备

说明书

本实用新型公开了一种硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备，硅片自动上下料装置包括两组移动组件及固定件，各移动组件包括横梁及两个并排设置的单轴机器人，各单轴机器人包括框架、移动块、滚珠丝杆副及电机，横梁上设置有夹具，横梁与两框架形成龙门式结构；且电机通过滚珠丝杆副连接于移动块，以驱动移动块与框架相对移动，并使得两组移动组件的横梁及夹具移动。单轴机器人为滚珠丝杆副传动，可以保证横梁及夹具移动的稳定性，各移动组件的两个单轴机器人与横梁呈龙门式结构，采用两组移动组件的四个单轴机器人同步运动，形成龙门双驱机构，实现硅片的自动上下料，机构刚性，精度，速度和稳定性都有很大的提高，使得工作效率更高。

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片的加工技术领域，尤其涉及一种硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备。

背景技术

现有技术一般是利用同步带机器人和SCARA机器人实现太阳能硅片的自动上下料，单轴步带机器人因本身的机构传动问题使得运动精度不高和稳定性较差，SCARA机器人自动上下料会有破片误判和效率不高的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备，可提高精度、稳定性，且效率较高。

为了解决上述技术问题，一方面，本实用新型的实施例提供了一种硅片自动上下料装置，包括两组移动组件及固定件，两组所述移动组件相对设置，各所述移动组件包括横梁及两个并排设置的单轴机器人，两组所述移动组件内的四个所述单轴机器人的轴向平行设置；各所述单轴机器人包括框架、移动块、滚珠丝杆副及电机，所述横梁上设置有夹具，在一所述移动组件中，所述横梁固定连接在所述框架上远离另一移动组件的一端处，所述横梁与两所述框架形成龙门式结构；所述移动块滑动设置于所述框架，所述滚珠丝杆副设置在所述框架内，所有所述单轴机器人的所述移动块均于所述固定件固定连接，所述电机固定于所述框架，且所述电机通过所述滚珠丝杆副连接于所述移动块，以驱动所述移动块与所述框架相对移动，并使得两组所述移动组件的横梁及夹具移动。

其中，两组所述移动组件内的四个单轴机器人排布于同一水平面上，且均位于所述固定件的下方。

其中，一所述移动组件的两个单轴机器人位于另一移动组件的两个单轴机器人之间。

其中，两组所述移动组件中，四个所述电机均固定于所述框架上靠近同一所述横梁的端部处。

其中，所述框架包括两个子框架，两个所述子框架平行且在竖直向上相对设置，两个所述子框架固定连接，所述滚珠丝杆副设置在两个所述子框架之间，两个所述子框架之间形成有两个导向槽，两个所述导向槽分别位于所述滚珠丝杆副轴向的两侧处，所述移动块向两个所述导向槽中延伸形成有两个连接臂，两所述连接臂的排布方向与所述单轴机器人的排布方向相同；所述连接臂朝向一所述子框架的一侧弯折，所述连接臂与所述固定件固定连接。

其中，所述横梁设置有直线移动机构，所述直线移动机构连接于所述夹具，以驱动所述夹具沿所述横梁的长度方向直线移动。

其中，所述直线移动机构包括滑块、横向电机及横向滚珠丝杆副，所述滑块与所述夹具固定连接，所述滑块沿所述横梁的长度方向滑动连接于所述横梁，所述横向电机固定于所述横梁，所述横向电机通过所述横向滚珠丝杆副连接于所述滑块，以驱动所述滑块及所述夹具直线移动。

其中，所述单轴机器人的轴向与所述横梁的长度方向相互垂直，且二者均为水平面方向；所述夹具包括连接件、支撑件及承载板，所述连接件与所述直线移动机构连接，以在所述直线移动机构的带动下移动；所述承载板用于承载硅片，所述支撑件与所述连接件固定连接，所述支撑件与连接件之间设置有竖向移动机构，所述竖向移动机构用于驱动所述支撑件与连接件在竖向上相对移动。

其中，所述承载板上设置有用于检测硅片的位置检测器。