[实用新型]下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置及等离子设备

权利要求书

1.一种下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，包括：

电极铜柱，其一端设有用于容纳静电卡盘电极探针的第一盲孔，所述电极铜柱的另一端设有用于容纳下电极滤波盒插头的第二盲孔；

电极探针套，其设置在所述电极铜柱和静电卡盘电极探针的外部，用于将所述静电卡盘电极探针定位在所述第一盲孔中，以使所述静电卡盘电极探针与所述电极铜柱电接触；以及

下电极滤波盒插头，其固定在所述下电极滤波盒上，所述下电极滤波盒插头的一端与所述第二盲孔之间接触，从而使所述下电极滤波盒插头与所述电极铜柱电接触。

2.根据权利要求1所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，所述电极探针套为环形绝缘件，其内表面具有台阶面，以与所述电极铜柱的外表面以及静电卡盘电极探针的外表面都紧密接触。

3.根据权利要求1所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，所述电极铜柱固定在设置于静电卡盘下方的接口盘中。

4.根据权利要求3所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，还包括卡套组件，用于将所述电极铜柱固定在所述接口盘中。

5.根据权利要求4所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，所述卡套组件包括绝缘材料制成的为环形件的第一卡套和第二卡套，所述第一卡套外表面具有与接口盘相配合的台阶面，内表面具有用于卡住所述电极铜柱的台阶面，所述第二卡套与所述第一卡套通过螺纹连接，共同将所述电极铜柱固定在所述接口盘中。

6.根据权利要求1所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，还包括设置在所述下电极滤波盒表面的绝缘固定板，所述下电极滤波盒插头的另一端固定在所述绝缘固定板中。

7.根据权利要求6所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，还包括插头固定组件，用于将所述下电极滤波盒插头的另一端固定在所述绝缘固定板中。

8.根据权利要求7所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，所述插头固定组件包括绝缘材料制成的为环形件的第一固定件和第二固定件，所述第一固定件和所述下电极滤波盒插头的另一端通过螺纹连接，置入所述绝缘固定板的凹槽中，所述第二固定件抵住第一固定件，并且所述第二固定件和所述绝缘固定板通过螺纹连接，将所述下电极滤波盒插头的另一端固定在所述绝缘固定板中。

9.根据权利要求1所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，所述下电极滤波盒插头容纳在所述第二盲孔内的部分设置弹簧片，并且所述弹簧片与所述第二盲孔之间为过盈配合。

10.一种等离子设备，其特征在于，其中的下电极滤波盒通过如权利要求1-9中的一项所述的下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置连接在静电卡盘的电极探针上。