[实用新型]一种真空半导体焊接装置

说明书

技术领域

本实用新型是一种真空半导体焊接装置，属于真空半导体焊接装置领域。

背景技术

半导体器件是将晶块焊接在瓷板上制成的，现有技术中，整个焊接装置是在空气中进行的，这样的装置具有结构简单、容易加工的优点，随着对半导体器件高性能的要求，这样的半导体器件不能满足需要，例如焊接的接触部分具有气泡，至使晶块和瓷板接触不好，影响了半导体器件的质量。

现有技术公开申请号为CN201120385893.8的一种真空半导体焊接装置，本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是真空半导体焊接装置，它包括机架，机架上有压盘，压盘下方有底座，所述的压盘和底座外围有一个箱体，箱体固定在机架上，所述的箱体有门，箱体还有管道连通抽真空装置，所述的箱体是透明材料制成的，这样的真空半导体焊接装置具有晶块和瓷板接触更好、质量更优、没有气泡的满足高标准的要求。但是，现有技术设备不具有能够称重测力的装置，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种真空半导体焊接装置，以解决现有技术不具有能够称重测力的装置，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种真空半导体焊接装置，其结构包括连接杆、固定板、波纹管、重力传感器，所述连接杆通过螺纹啮合连接于固定板侧面上，所述固定板通过螺纹啮合连接于连接杆与波纹管之间，所述波纹管通过螺纹啮合连接于固定板与重力传感器之间，所述重力传感器通过螺纹啮合连接于波纹管尾端，所述连接杆设有支杆，所述支杆通过螺纹啮合连接于连接杆顶端；所述固定板设有固定孔，所述固定孔均匀等距嵌设于固定板四个对角上；所述波纹管设有钢筘、垫片，所述钢筘嵌设于波纹管中间部分外表面上，所述垫片通过螺纹啮合连接于波纹管尾端；所述重力传感器设有导线、线圈、接头、轴圈、双孔接头，所述导线嵌设于双孔接头尾端，所述线圈均匀等距嵌设于接头与双孔接头之间，所述接头通过螺纹啮合连接于轴圈外侧，所述轴圈通过螺纹啮合连接于接头与线圈之间，所述双孔接头通过螺纹啮合连接于线圈端部。

进一步的，所述连接杆为圆形杆状结构，所述连接杆设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接杆两端，所述连接杆通过旋转螺纹啮合连接于固定板与支杆之间。

进一步的，所述支杆为圆形杆状结构，所述支杆设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于支杆一端，所述支杆通过旋转螺纹啮合连接于连接杆一端上。

进一步的，所述固定板为矩形结构，固定板设有连接孔，所述连接孔嵌设于固定板中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述固定板通过旋转螺纹啮合连接于波纹管与连接杆之间。

进一步的，所述波纹管为圆形杆状结构，波纹管设有螺纹凸起、旋转螺纹，所述螺纹凸起均匀等距分布于波纹管外表面，所述旋转螺纹嵌设于波纹管两端，所述波纹管通过旋转螺纹啮合连接于垫片与固定板之间。

进一步的，所述轴圈为圆形结构，所述轴圈设有连接孔，所述连接孔为圆形结构，所述连接孔嵌设于轴圈中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述轴圈通过旋转螺纹啮合连接于接头与线圈之间。

进一步的，所述双孔接头为圆形结构，所述双孔接头设有嵌设孔、旋转螺纹，所述嵌设孔嵌设于双孔接头外表面，所述旋转螺纹嵌设于双孔接头端部，所述双孔接头通过旋转螺纹啮合连接于线圈端部。

本实用新型的有益效果：通过设有一种重力传感器，能够称重测力，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏，保护设备的安全使用，方便实用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种真空半导体焊接装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种重力传感器的结构示意图。

图中：1-连接杆、2-固定板、3-波纹管、4-重力传感器、10-支杆、20-固定孔、30-钢筘、31-垫片、40-导线、41-线圈、42-接头、43-轴圈、44-双孔接头。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。