[实用新型]一种调制器组件及基板检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器件的检测技术领域，尤其涉及一种调制器及基板检测装置。

背景技术

在显示装置的生产过程中，经常会用检测装置对显示装置的某些器件进行检测，以检验其各项指标是否符合要求，例如在液晶显示器的生产过程中，在薄膜晶体管制程结束后，需要进行阵列基板检测(Array Test)工序，以检测阵列基板制程完成时像素电极(pixel)和数据线、栅线等布线(Line)是否良好(例如：是否出现电连接不良的问题，比如栅线和数据线的交叠处是否出现短路等)。阵列基板检测工序是由阵列基板的检测装置完成的，其中，调制器(Modulator)是阵列基板的检测装置的重要的部件之一，调制器主要对阵列基板上电压的变化来检测其是否良好，调制器结构设计的是否合理，则直接影响阵列基板的检测结果。

现有的一种阵列基板检测装置中的调制器组件，如图1所示，包括调制器01、用于固定调制器01的支架02、以及驱动支架02移动的驱动单元(图中未示出)，在对阵列基板(标号a所示)检测时，驱动单元驱动调制器01移动，以对待检测的阵列基板进行检测。

现有这种调制器组件，调制器01在对阵列基板进行检测时，调制器01中与阵列基板相对的表面(一般是下表面)与阵列基板之间的距离只有50um，在这么小的距离下，如果阵列基板的膜面(设置有多个膜层的表面)上存在较大的微粒，那么调制器01的下表面很容易被微粒所划伤，而且这种划伤是不可逆的，调制器01上被划伤的部位则因划伤而失效，这样不但影响后续的阵列基板检测，而且更换调制器01也需要很高的费用，从而增加了检测成本。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种调制器组件及基板检测装置，用以解决现有的调制器在检测过程中容易被划伤的技术问题。

为达到上述目的，一方面，本实用新型的实施例提供了一种调制器组件，包括调制器、用于固定所述调制器的支架、以及用于驱动所述支架移动的第一驱动单元，还包括：传感器，所述传感器设置于所述调制器的侧向，且与所述调制器的位置相对固定，所述传感器用于感应得到用于表征待测基板上的微粒尺寸的参数；控制单元，所述控制单元与所述传感器连接，用于向所述第一驱动单元输出控制命令，所述控制命令用于使所述调制器跳过尺寸大于阈值的微粒所在区域。

进一步地，所述传感器的下表面为弹性材料层，所述弹性材料层的下表面与所述调制器的下表面相平齐，所述传感器用于感应弹性材料层的形变。

优选地，所述传感器的个数为一个，所述调制器与所述支架可旋转连接，并且所述调制器的旋转轴线平行于所述调制器的中心轴，所述调制器可在控制单元的控制下绕所述旋转轴线旋转。

优选地，所述传感器的个数为三个，三个所述传感器和所述调制器呈2×2的阵列分布。

进一步地，所述调制器、所述传感器的下表面的形状均为矩形。

进一步地，所述传感器与所述调制器活动连接，所述传感器可相对所述调制器上下运动，所述传感器还连接有第二驱动单元，所述第二驱动单元与所述控制单元相连接，所述第二驱动单元可在所述控制单元的控制下驱动所述传感器相对所述调制器向上移动。

更进一步地，所述调制器向侧向延伸形成有凸缘，所述凸缘上开设有通孔，所述传感器上固定设有连接柱，所述连接柱与所述通孔滑动配合。

更进一步地，所述第二驱动单元包括设置于所述调制器上的第一磁性吸附件和设置于所述传感器上的第二磁性吸附件，所述第一磁性吸附件位于所述第二磁性吸附件的上方，所述控制单元可对所述第一磁性吸附件和所述第二磁性吸附件之间产生的磁性吸附力的大小进行控制，以使所述传感器可相对所述调制器向上移动。

更进一步地，所述第一磁性吸附件为电磁铁，所述第二磁性吸附件由可被所述电磁铁吸附的材料制成。

本实用新型的实施例提供的调制器组件，由于调制器的侧向设有传感器，且与调制器的位置相对固定，传感器用于感应得到用于表征待测基板上的微粒尺寸的参数，这样当调制器对待基板进行检测的时，传感器就可以提前对调制器即将检测的区域进行探测，以感应调制器即将检测的区域内是否存在较大的微粒；又由于本实用新型的实施例提供的调制器组件中还包括控制单元，控制单元与传感器连接，那么，如果传感器所探测的区域内微粒大小大于阈值时，此时，控制单元就可以向第一驱动单元输出控制命令，以使调制器跳过尺寸大于阈值的微粒所在区域，这样就可以避免调制器被微粒所划伤，从而就可以保证调制器对后续基板检测的准确性，大大减少了调制器的更换次数，降低了检测成本，从而可以为企业节省开支。