[实用新型]一种调制器组件及基板检测装置

权利要求书

1.一种调制器组件，包括调制器、用于固定所述调制器的支架、以及用于驱动所述支架移动的第一驱动单元，其特征在于，还包括：

传感器，所述传感器设置于所述调制器的侧向，且与所述调制器的位置相对固定，所述传感器用于感应得到用于表征待测基板上的微粒尺寸的参数；

控制单元，所述控制单元与所述传感器连接，用于向所述第一驱动单元输出控制命令，所述控制命令用于使所述调制器跳过尺寸大于阈值的微粒所在区域。

2.根据权利要求1所述的调制器组件，其特征在于，所述传感器的下表面为弹性材料层，所述弹性材料层的下表面与所述调制器的下表面相平齐，所述传感器用于感应弹性材料层的形变。

3.根据权利要求1所述的调制器组件，其特征在于，所述传感器的个数为一个，所述调制器与所述支架可旋转连接，并且所述调制器的旋转轴线平行于所述调制器的中心轴，所述调制器可在所述控制单元的控制下绕所述旋转轴线旋转。

4.根据权利要求1所述的调制器组件，其特征在于，所述传感器的个数为三个，三个所述传感器和所述调制器呈2×2的阵列分布。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的调制器组件，其特征在于，所述调制器、所述传感器的下表面的形状均为矩形。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的调制器组件，其特征在于，所述传感器与所述调制器活动连接，所述传感器可相对所述调制器上下运动，所述传感器还连接有第二驱动单元，所述第二驱动单元与所述控制单元相连接，所述第二驱动单元可在所述控制单元的控制下驱动所述传感器相对所述调制器向上移动。

7.根据权利要求6所述的调制器组件，其特征在于，所述调制器向侧向延伸形成有凸缘，所述凸缘上开设有通孔，所述传感器上固定设有连接柱，所述连接柱与所述通孔滑动配合。

8.根据权利要求6所述的调制器组件，其特征在于，所述第二驱动单元包括设置于所述调制器上的第一磁性吸附件和设置于所述传感器上的第二磁性吸附件，所述第一磁性吸附件位于所述第二磁性吸附件的上方，所述控制单元可对所述第一磁性吸附件和所述第二磁性吸附件之间产生的磁性吸附力的大小进行控制，以使所述传感器可相对所述调制器向上移动。

9.根据权利要求8所述的调制器组件，其特征在于，所述第一磁性吸附件为电磁铁，所述第二磁性吸附件由可被所述电磁铁吸附的材料制成。

10.一种基板检测装置，其特征在于，包括光学成像组件，所述光学成像组件包括权利要求1～9任一项所述的调制器组件。