[实用新型]一种清洗管结构及晶圆修边机台

权利要求书

1.一种清洗管结构，适用于晶圆修边机台内，所述晶圆修边机台包括一用于放置晶圆的转盘、一设置于所述转盘边缘处的刀具，所述刀具可旋转地设置于一转轴上，其特征在于，所述清洗管结构包括：

清洗喷管，设置于所述转盘的上方并包围所述刀具的修切区域，所述清洗喷管包括一开口端和一封闭端，并于所述开口端向所述清洗喷管内输送高压清洗液；

复数个喷嘴，设置于所述清洗喷管朝向所述刀具的一侧上并与所述清洗喷管连通，每个所述喷嘴的喷头朝向所述刀具的修切区域。

2.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，每个所述喷嘴与水平方向的夹角为45度。

3.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，还包括一支架，固定于所述转轴上；

所述支架包括两个对称设置的支撑臂，两个所述支撑臂分别从所述刀具的两侧伸至所述转盘的上方；

所述清洗喷管跨接于两个所述支撑臂上。

4.如权利要求3所述的清洗管结构，其特征在于，还包括一输水管道，所述输水管道通过所述开口端与所述清洗喷管连通，所述清洗液通过所述输水管道输送至所述清洗喷管内；

所述输水管道固定于所述转轴以及一个所述支撑臂上。

5.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，所述清洗喷管为朝向所述刀具弯曲的弧形结构。

6.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，所述清洗液为二氧化碳水溶液。

7.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，所述喷嘴为扇型喷嘴。

8.如权利要求1所述的清洗管结构，其特征在于，所述清洗喷管内所述清洗液的压力为0.5MPa。

9.一种晶圆修边机台，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一所述的清洗管结构。