[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括具有收纳空间的保护结构及收容于所述收纳空间内的MEMS芯片和ASIC芯片，所述保护结构上设有供声波通过的声孔，所述MEMS麦克风还包括覆盖所述声孔的防水件，所述保护结构包括外壳及与所述外壳形成所述收纳空间的PCB基板，其特征在于：所述防水件包括朝向声孔的顶壁、与所述顶壁相对的底壁及连接所述顶壁与所述底壁的侧壁，所述顶壁与所述底壁上均设有若干微孔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔设置于所述外壳上，所述防水件固定于所述外壳的朝向收纳空间的表面。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS芯片固定于所述PCB基板上。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔设置于所述PCB基板上，所述防水件固定于所述PCB基板的朝向收纳空间的表面。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS芯片固定于所述PCB基板上，所述防水件设置于所述MEMS芯片与PCB基板之间，且所述防水件键合于所述MEMS芯片的表面。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述防水件的侧壁的末端与所述底壁所在的平面齐平。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述防水件的侧壁包括连接所述顶壁与所述底壁的主体部及延伸超出所述主体部的延伸部，所述延伸部与所述底壁之间形成凹陷，所述延伸部与所述保护结构固定连接。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述防水件由氮化硅材料制成。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述微孔的孔径在1微米-10微米的范围内。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述微孔的形状为圆形、方形或其它不规则的形状。