[实用新型]一种低噪音的刻蚀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种刻蚀设备，特别是一种低噪音的刻蚀设备。

背景技术

单晶产品在刻蚀设备制程中通过去除硅片边缘的N型硅，使硅片上下两面绝缘，去除扩散形成的PSG，然后进行烘干。根据图3的被作用物我们可以发现，被作用物为长方体形状，对于此形状物的烘干，采用相应的出风口最为合适。

在整个过程中，会产生83.4dB的噪音，从而影响现场操作人员的身心健康和工作效率及存在安全隐患。同时，原设备通过吸风管道将室外的空气吸入室内，当室外较冷时，冷空气即便通过热风机加热后使用，仍然会降低效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对上述问题，本实用新型提供一种低噪音的高产能的能造成气体循环的刻蚀设备。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机和高效过滤器，所述高效过滤器上设置有进风口，高效过滤器和热风机外包有机台，所述机台的壁面面向进风口的开口的方向设有回风口,所述回风口为长方形结构；

机台的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组和下风刀组，所述上风刀组和所述下风刀组的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口的长度相等，上风刀组和下风刀组分别与热风机和高效过滤器通过风管顺次连接，上风刀组和下风刀组的中间设置有放物平台，所述放物平台为网状结构，放物平台的一端连接机台，放物平台、回风口与进风口均齐平设置，上风刀组包括水平设置的前风刀a和后风刀a，所述前风刀a 的开口面向正下方向，所述后风刀a的开口面向右下方向，前风刀a与机台的距离小于后风刀a与机台的距离，下风刀组包括水平设置的前风刀b和后风刀b，所述前风刀b的开口面向正上方向，所述后风刀b的开口面向右上方向，前风刀b与机台的距离小于后风刀b 与机台的距离。

优选的，所述热风机外包裹有隔音隔温棉。

优选的，所述回风口的上方设置有新风口。

一种低噪音的刻蚀系统，包括隔离间和设置在隔离间内的刻蚀设备，所述隔离间侧面设置有门和多个风口，隔离间包括工作区域和维修区域，所述维修区域内设置机台，工作区域设置风刀组。

优选的，所述风口设置有粗过滤网，所述门设置有隔音隔温棉。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中的一种低噪音的刻蚀设备，通过取消管道和多层包裹隔绝，使得降噪效果十分明显，保护现场操作人员的身心健康，保证其工作效率，同时由于采用循环使用室内加热过的空气作为进风，从而提升了出风温度，出风温度的提高使得整个过程效率得到提高，并使得室外的环境变化对该装置的工作效果产生的影响得到降低，提升了产能，且采用了一定方法增加循环效率更高。

附图说明

图1是本实用新型结构图；

图2是本实用新型机台的正面图；

图3是被作用物的俯视图；

图中标记：1-隔离间；2-上风刀组；3-下风刀组；4-热风机；5-进风口；6-机台；7- 高效过滤器；8-回风口；9-门；10-风口；11-放物平台；12-新风口；13-工作区域；14-维修区域；15-前风刀a；16-后风刀a；17-后风刀b；18-前风刀b。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

实施例一

本实施例结合图1和图2所示，一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机4和高效过滤器7，所述高效过滤器7上设置有进风口5，高效过滤器7和热风机4外包有机台6，所述机台6的壁面面向进风口5的开口的方向设有回风口8,所述回风口8为长方形结构；