[实用新型]一种低噪音的刻蚀设备

权利要求书

1.一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机(4)和高效过滤器(7)，其特征在于：所述高效过滤器(7)上设置有进风口(5)，高效过滤器(7)和热风机(4)外包有机台(6)，所述机台(6)的壁面面向进风口(5)的开口的方向设有回风口(8),所述回风口(8)为长方形结构；

机台(6)的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组(2)和下风刀组(3)，所述上风刀组(2)和所述下风刀组(3)的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口(8)的长度相等，上风刀组(2)和下风刀组(3)分别与热风机(4)和高效过滤器(7)通过风管顺次连接，上风刀组(2)和下风刀组(3)的中间设置有放物平台(11)，所述放物平台(11)为网状结构，放物平台(11)的一端连接机台(6)，放物平台(11)、回风口(8)与进风口(5)均齐平设置，上风刀组(2)包括水平设置的前风刀a(15)和后风刀a(16)，所述前风刀a(15)的开口面向正下方向，所述后风刀a(16)的开口面向右下方向，前风刀a(15)与机台(6)的距离小于后风刀a(16)与机台(6)的距离，下风刀组(3)包括水平设置的前风刀b(18)和后风刀b(17)，所述前风刀b(18)的开口面向正上方向，所述后风刀b(17)的开口面向右上方向，前风刀b(18)与机台(6)的距离小于后风刀b(17)与机台(6)的距离。

2.根据权利要求1所述的一种低噪音的刻蚀设备，其特征在于：所述热风机(4)外包裹有隔音隔温棉。

3.根据权利要求1所述的一种低噪音的刻蚀设备，其特征在于：所述回风口(8)的上方设置有新风口(12)。

4.一种低噪音的刻蚀系统，其特征在于：包括隔离间(1)和设置在隔离间(1)内的刻蚀设备，所述隔离间(1)侧面设置有门(9)和多个风口(10)，隔离间(1)包括工作区域(13)和维修区域(14)，所述维修区域(14)内设置机台(6)，工作区域(13)设置风刀组。

5.根据权利要求4所述的一种低噪音的刻蚀系统，其特征在于：所述风口(10)设置有粗过滤网，所述门(9)设置有隔音隔温棉。