[实用新型]一种布线结构及具有该布线结构的晶圆有效

专利信息
申请号: 201720994180.9 申请日: 2017-08-09
公开(公告)号: CN207052599U 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 李昭强;孙鹏;徐成;王训堂 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L23/485 分类号: H01L23/485
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 代理人: 马永芬
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 布线 结构 具有
【权利要求书】:

1.一种布线结构,其特征在于,包括:

第一绝缘层,覆盖晶圆表面;所述第一绝缘层开设有第一开口,露出所述第一绝缘层底部的金属焊盘;

再布线层,设置于所述第一绝缘层表面,通过所述第一开口与所述金属焊盘连接;

第二绝缘层,套设于所述再布线层表面,并且当再布线层的相邻导线之间的距离大于预设值时,套设于相邻导线上的第二绝缘层间设置有间距。

2.根据权利要求1所述的布线结构,其特征在于,所述第二绝缘层开设有第二开口,露出所述第二绝缘层底部再布线层的导线;所述布线结构还包括:

焊球或凸点,设置于所述第二开口处,与露出的导线连接。

3.具有权利要求1或2所述的布线结构的晶圆。

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