[实用新型]改进型电阻加热源镀膜装置有效
| 申请号: | 201720963956.0 | 申请日: | 2017-08-03 |
| 公开(公告)号: | CN207002835U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
| 发明(设计)人: | 饶祖广;施艳艳 | 申请(专利权)人: | 河南师范大学 |
| 主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/50 |
| 代理公司: | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)41139 | 代理人: | 路宽 |
| 地址: | 453007 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 改进型 电阻 热源 镀膜 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及镀膜装置技术领域,尤其涉及改进型电阻加热源镀膜装置。
背景技术
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。现有的蒸发源有电阻加热源、高频感应加热源和电子束加热源。其中电阻加热源用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质,电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。但是现有的电阻镀膜装置存在镀膜厚度难以控制,镀层不均匀,体积较大的工件镀层覆盖不够完全,存在未镀膜的部分。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的改进型电阻加热源镀膜装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:改进型电阻加热源镀膜装置,包括底座,所述底座的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有支撑杆,所述支撑杆远离底座的一端通过紧固螺栓连接有顶板,所述底座的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有回转底座,所述回转底座的顶部一侧通过紧固螺栓连接有回转底座电机,所述回转底座的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有中空的工件支架立柱,所述工件支架立柱顶部的内壁两侧从上至下均通过紧固螺栓连接有两个固定件,且固定件的顶部通过紧固螺栓连接有隔板,所述隔板的顶部通过紧固螺栓连接有四个等距离分布的电机,所述工件支架立柱外壁的顶部开设有四列等距离分布的穿孔,所述电机的输出轴卡接有第二工件支架,所述工件支架立柱外壁的底部开设有四列等距离分布的安装螺纹孔,所述安装螺纹孔的内部螺纹连接有第一工件支架,所述底座的顶部圆周处和顶板的底部圆周处均开设有六个等距离分布的滑槽,所述滑槽的内壁滑动连接有滑轮,所述滑轮远离滑槽的一端通过紧固螺栓连接有立柱,所述立柱的一侧通过紧固螺栓连接有插销,所述滑槽的一侧内壁顶部开设有五个等距离分布的插销孔,所述立柱的一侧从上至下通过紧固螺栓连接有等距离分布的蒸发电极支架,所述蒸发电极支架的两端均通过导线连接有同一个蒸发电极。
优选的,所述回转底座、隔板和工件支架立柱的顶部圆心处开设有通孔,且支撑杆的外径和通孔的内径相适配。
优选的,所述第二工件支架经穿孔延伸至工件支架立柱的外壁,且每列穿孔的数量为两至三个。
优选的,所述插销和插销孔相适配。
优选的,所述蒸发电极支架的数量为六至八个,且蒸发电极的材质为钨,蒸发电极的顶部放置有蒸发物质。
优选的,所述顶板的尺寸和底座的尺寸相同。
本实用新型的有益效果为:
1.底座和顶板均设置滑槽,安装有蒸发电极支架的立柱可随滑轮移动,从而改变工件镀层的厚度。
2.工件支架立柱从上至下依次安装有可转动的工件支架和固定的工件支架,大工件可固定在可转动的工件支架上转动镀膜,镀层更加均匀,覆盖更加完全。
3.工件支架立柱的底部设置有回转底座,可带动工件转动镀膜,使得工件的镀层厚度更加均匀,光泽更好。
附图说明
图1为本实用新型提出的改进型电阻加热源镀膜装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的改进型电阻加热源镀膜装置的俯视图。
图中:1底座、2回转底座电机、3回转底座、4工件支架立柱、5滑槽、6滑轮、7插销、8蒸发电极支架、9安装螺纹孔、10第一工件支架、11立柱、12隔板、13穿孔、14电机、15第二工件支架、16顶板、17支撑柱、18蒸发电极、19插销孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
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