[实用新型]改进型电阻加热源镀膜装置有效
| 申请号: | 201720963956.0 | 申请日: | 2017-08-03 |
| 公开(公告)号: | CN207002835U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
| 发明(设计)人: | 饶祖广;施艳艳 | 申请(专利权)人: | 河南师范大学 |
| 主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/50 |
| 代理公司: | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)41139 | 代理人: | 路宽 |
| 地址: | 453007 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 改进型 电阻 热源 镀膜 装置 | ||
1.改进型电阻加热源镀膜装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有支撑杆(17),所述支撑杆(17)远离底座(1)的一端通过紧固螺栓连接有顶板(16),所述底座(1)的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有回转底座(3),所述回转底座(3)的顶部一侧通过紧固螺栓连接有回转底座电机(2),所述回转底座(3)的顶部圆心处通过紧固螺栓连接有中空的工件支架立柱(4),所述工件支架立柱(4)顶部的内壁两侧从上至下均通过紧固螺栓连接有两个固定件,且固定件的顶部通过紧固螺栓连接有隔板(12),所述隔板(12)的顶部通过紧固螺栓连接有四个等距离分布的电机(14),所述工件支架立柱(4)外壁的顶部开设有四列等距离分布的穿孔(13),所述电机(14)的输出轴卡接有第二工件支架(15),所述工件支架立柱(4)外壁的底部开设有四列等距离分布的安装螺纹孔(9),所述安装螺纹孔(9)的内部螺纹连接有第一工件支架(10),所述底座(1)的顶部圆周处和顶板(16)的底部圆周处均开设有六个等距离分布的滑槽(5),所述滑槽(5)的内壁滑动连接有滑轮(6),所述滑轮(6)远离滑槽(5)的一端通过紧固螺栓连接有立柱(11),所述立柱(11)的一侧通过紧固螺栓连接有插销(7),所述滑槽(5)的一侧内壁顶部开设有五个等距离分布的插销孔(19),所述立柱(11)的一侧从上至下通过紧固螺栓连接有等距离分布的蒸发电极支架(8),所述蒸发电极支架(8)的两端均通过导线连接有同一个蒸发电极(18)。
2.根据权利要求1所述的改进型电阻加热源镀膜装置,其特征在于,所述回转底座(3)、隔板(12)和工件支架立柱(4)的顶部圆心处开设有通孔,且支撑杆(17)的外径和通孔的内径相适配。
3.根据权利要求1所述的改进型电阻加热源镀膜装置,其特征在于,所述第二工件支架(15)经穿孔(13)延伸至工件支架立柱(4)的外壁,且每列穿孔(13)的数量为两至三个。
4.根据权利要求1所述的改进型电阻加热源镀膜装置,其特征在于,所述插销(7)和插销孔(19)相适配。
5.根据权利要求1所述的改进型电阻加热源镀膜装置,其特征在于,所述蒸发电极支架(8)的数量为六至八个,且蒸发电极(18)的材质为钨,蒸发电极(18)的顶部放置有蒸发物质。
6.根据权利要求1所述的改进型电阻加热源镀膜装置,其特征在于,所述顶板(16)的尺寸和底座(1)的尺寸相同。
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