[实用新型]一种旋转夹持台有效
| 申请号： | 201720961659.2 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN206976302U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈文;牛伟光;尚美杰 | 申请（专利权）人： | 宁波尚进自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙)33243 | 代理人： | 张向飞 |
| 地址： | 315100 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 夹持 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转夹持台，其特征在于：包括：
座体；
主轴，铰接在座体上，所述主轴中部具有用于固定待封装激光器芯片的平面；
电机，设置在座体外侧并与主轴直接连接，所述电机直接驱动主轴进行旋转动作。
2.根据权利要求1所述的一种旋转夹持台，其特征在于：所述电机设置为扇形直驱电机，改变扇形直驱电机的电流方向和大小能控制激光器芯片的旋转方向和速度。
3.根据权利要求2所述的一种旋转夹持台，其特征在于：所述扇形直驱电机可设置为三相电机或音圈电机。
4.根据权利要求1所述的一种旋转夹持台，其特征在于：在座体上还设有与主轴相接并与电机控制系统电气连接的旋转编码器，所述旋转编码器用于实时监测并反馈旋转夹持台角度。
5.根据权利要求4所述的一种旋转夹持台，其特征在于：所述电机与主轴一端相连，所述旋转编码器可与电机同侧设置并安装于主轴对应位置，或安装于主轴远离电机的一端。
6.根据权利要求4或5所述的一种旋转夹持台，其特征在于：所述旋转编码器包括套设在主轴上的光栅尺以及安装在座体上并与光栅尺适配的读数头。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
