[实用新型]用于微电子器件的柔性加载测试装置

权利要求书

1.一种用于微电子器件的柔性加载测试装置，包括测试工具头（1）和用于驱动测试工具头（1）的往复运动的驱动机构（2），其特征在于：所述测试工具头（1）通过一柔性加载组件（3）与驱动机构（2）的驱动端相连，所述柔性加载组件（3）包括与测试工具头（1）相连的滑轴（31）以及与驱动机构（2）相连的缸体（32），所述缸体（32）具有一填充有磁流变液的内腔（321），所述滑轴（31）贯穿所述内腔（321）并与缸体（32）滑动密封配合，所述滑轴（31）上绕设有一组以上内线圈组（33），所述缸体（32）的外部绕设有一组以上外线圈组（34），所述柔性加载组件（3）还包括用于向各内线圈组（33）和各外线圈组（34）通入线性电流的电源（35），所有内线圈组（33）和所有外线圈组（34）的电流方向绕滑轴（31）轴线相同。

2.根据权利要求1所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述缸体（32）的外部绕设有两组外线圈组（34），两组外线圈组（34）在滑轴（31）滑动方向上间隔布置。

3.根据权利要求1所述的柔性加载测试装置，其特征在于：在滑轴（31）滑动方向上，两组外线圈组（34）分别自缸体（32）的两个端部向缸体（32）的中部延伸。

4.根据权利要求3所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述滑轴（31）上绕设有一组内线圈组（33），两组外线圈组（34）在滑轴（31）滑动方向上分设于所述内线圈组（33）的两端，且两组外线圈组（34）与所述内线圈组（33）在滑轴（31）滑动方向上均具有间距。

5.根据权利要求1所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述滑轴（31）上设有位于内腔（321）中并与缸体（32）内壁配合限制滑轴（31）滑动行程的限位部。

6.根据权利要求5所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述限位部为一直径大于滑轴（31）直径的圆柱体（36），且圆柱体（36）的轴线与滑轴（31）的轴线重合，所述内线圈组（33）绕设于所述圆柱体（36）上。

7.根据权利要求6所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述圆柱体（36）具有分别与内线圈组（33）两端相抵以阻止内线圈组（33）沿圆柱体（36）移动的凸环部（361）。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述滑轴（31）具有内部通道，所述内线圈组（33）的两端穿过所述内部通道延伸至缸体（32）外部并与电源（35）相连。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的柔性加载测试装置，其特征在于：所述磁流变液为纳米磁性材料复合磁流变液。