[实用新型]新型上电极安装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种新型上电极安装装置。

背景技术

干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术，在刻蚀的过程中，刻蚀腔体中设置有上下电极，被刻蚀晶圆吸附在下电极上，通过给上下电极加载射频电压，对刻蚀的气体进行等离子化得到等离子体，等离子体对被刻蚀晶圆的表面进行刻蚀。由于在整个刻蚀的过程中，电极比如上电极会不断发热，其温度会急剧升高，因此，上电极实质上还配置有一冷却盘，用于对上电极实时进行散热处理。

现有技术中，冷却盘一端直径与上电极直径相等、另一端直径大于上电极直径，为了便于上电极和冷却盘安装，冷却盘半径较小的一端上设置有多个冷却盘定位销，上电极与冷却盘连接的一端上设置有与冷却盘定位销对应的上电极定位孔，通过将冷却盘定位销插设到上电极定位孔中实现上电极和冷却盘之间的点位；再在冷却盘上沿周向设置有多个螺纹孔，上电极上对应冷却盘上的螺纹孔也设置有多个螺纹孔，最后通过设置在螺纹通孔和螺纹盲孔中的固定螺丝，实现上电极和冷却盘之间的固定。

在具体安装时，需要双人作业，安装时将上电极置于桌上，将上电极和冷却盘对准同一方向，对准冷却盘定位销与上电极定位孔，两人各持冷却盘的一端，同步慢慢放下，将冷却盘定位销插设到上电极定位孔中，再通过固定螺丝将冷却盘和上电极固定到一起。一般情况下，将冷却盘定位销插设到上电极定位孔中后，还需要检查上电极与冷却盘是否同轴，由于冷却盘不与上电极连接的一端的直径比上电极大，无法用肉眼观察到上电极与冷却盘是否处于同轴状态。如果上电极与冷却盘不为同轴，则蚀刻晶圆的过程中容易造成缺陷，影响晶圆良率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型上电极安装装置，解决以上所述的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种新型上电极安装装置，用以对冷却盘和上电极进行组装，所述上电极为圆盘形，其下端沿周向设有多个螺纹盲孔，所述冷却盘由半径与所述上电极半径相等的上圆盘和一体成型且同轴设置的半径大于所述上电极的下圆盘组成，所述冷却盘上设置有多个与所述螺纹盲孔一一对应的螺纹通孔，所述上电极和所述冷却盘通过旋入所述螺纹盲孔和所述螺纹通孔的固定螺丝固定连接，所述下圆盘下端沿周向设有至少两个定位孔，包括操作台，所述操作台的上端设置有至少两个与所述定位孔一一对应的操作台定位销，所述操作台定位销插入其对应的所述定位孔中，以将所述冷却盘固定在所述操作台上，所述操作台上沿周向开有多个与所述螺纹通孔一一对应的通孔，当所述上电极安装到冷却盘上后，通过所述通孔将固定螺丝将安装到所述螺纹盲孔和所述螺纹通孔中。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的操作台的上端沿周向设置有至少两个与定位孔相对应的操作台定位销，通过将操作台定位销卡接在与其对应的定位孔中，即可将冷却盘固定在操作台上，此时冷却盘的下圆盘设置在下方，其不会对上电极的安装造成影响，可将上电极的上电极定位孔轻松地插入到对应的冷却盘定位销中，并且在安装后可以对上电极的位置进行微调，以保证上电极与冷却盘同轴设置，其边缘完全对应；由于冷却盘和上电极之间需要通过固定螺丝固定，当冷却盘固定在操作台上时，在操作台上沿周向开有多个通孔，而且通孔的数量与螺纹通孔一一对应，这样就可以通过操作台上的通孔，将固定螺丝安装到螺纹通孔和螺纹盲孔中，从而将上电极和冷却盘固定到一起。本实用新型可以轻松实现上电极和冷却盘的定位，便于上电极和冷却盘的固定，使上电极和冷却盘轻松且稳定的安装在一起，减少晶圆在生产过程中的中缺陷的几率，提高晶圆良率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步，所述操作台为圆盘形，其与至少两个所述操作台定位销的圆心所在的圆同轴设置。

采用上述进一步方案的有益效果是：本进一步方案中，将操作台设置为圆盘形，同时将操作台与至少两个操作台定位销的圆心所在的圆同轴设置，冷却盘放置在操作台上时，操作台受力更加平衡，更加稳固，而且圆柱形的操作台也易加工。

进一步，所述操作台定位销设置为两个，两个所述操作台定位销沿周向均匀设置。

采用上述进一步方案的有益效果是：本进一步方案中，两个操作台定位销沿周向均匀设置，两个操作台定位销即可实现冷却盘的固定，节省操作台定位销的制作材料，降低成本。

进一步，所述通孔设置为六个，六个所述通孔沿周向均匀设置。