[实用新型]新型上电极安装装置

权利要求书

1.一种新型上电极安装装置，用以对冷却盘(100)和上电极(200)进行组装，所述上电极(200)为圆盘形，其下端沿周向设有多个螺纹盲孔(210)，所述冷却盘由半径与所述上电极(200)半径相等的上圆盘和一体成型且同轴设置的半径大于所述上电极(200)的下圆盘组成，所述冷却盘(100)上设置有多个与所述螺纹盲孔(210)一一对应的螺纹通孔(110)，所述上电极(200)和所述冷却盘(100)通过旋入所述螺纹盲孔(210)和所述螺纹通孔(110)的固定螺丝(120)固定连接，所述下圆盘下端沿周向设有至少两个定位孔(130)，其特征在于，包括操作台，所述操作台的上端设置有至少两个与所述定位孔(130)一一对应的操作台定位销(310)，所述操作台定位销(310)插入其对应的所述定位孔(130)中，以将所述冷却盘(100)固定在所述操作台上，所述操作台上沿周向开有多个与所述螺纹通孔(110)一一对应的通孔(320)，当所述上电极(200)安装到冷却盘(100)上后，通过所述通孔(320)将固定螺丝(120)将安装到所述螺纹盲孔(210)和所述螺纹通孔(110)中。

2.如权利要求1所述的新型上电极安装装置，其特征在于，所述操作台为圆盘形，其与至少两个所述操作台定位销(310)的圆心所在的圆同轴设置。

3.如权利要求2所述的新型上电极安装装置，其特征在于，所述操作台定位销(310)设置为两个，两个所述操作台定位销(310)沿周向均匀设置。

4.如权利要求3所述的新型上电极安装装置，其特征在于，所述通孔(320)设置为六个，六个所述通孔(320)沿周向均匀设置。

5.如权利要求4所述的新型上电极安装装置，其特征在于，所述通孔(320)的半径为所述螺纹通孔(110)半径的2-4倍。

6.如权利要求1-5任一项所述的新型上电极安装装置，其特征在于，还包括底座(400)和连接杆(500)，所述底座(400)设置在所述操作台下方，所述底座(400)和所述操作台通过所述连接杆(500)连接。

7.如权利要求6所述的新型上电极安装装置，其特征在于，所述连接杆由第一圆杆(510)和内部中空的且下端开口的第二圆杆(520)组成，所述第一圆杆(510)的下端与所述底座(400)的上端固定连接，其上端伸入所述第二圆杆(520)的下端开口内，所述第二圆杆(520)可沿所述第一圆杆(510)轴向移动，所述第二圆杆(520)的下端周向均布有多个贯穿其侧壁的螺纹孔，所述螺纹孔内设置有匹配的螺栓(530)，通过拧紧所述螺栓(530)可将第二圆杆(520)与第一圆杆(510)固定住。