[实用新型]一种光刻机专用基片定位装置

权利要求书

1.一种光刻机专用基片定位装置，包括光刻机以及安装在光刻机底座上的定位装置，其特征在于：所述定位装置包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：

基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。

2.根据权利要求1所述的光刻机专用基片定位装置，其特征在于：所述基片定位杆两端均具有外螺纹，且表面具有尺寸刻度，基片定位环螺纹固定在基片定位杆端部，且可根据基片尺寸大小进行基片定位环更换，同时基片定位杆螺纹固定在基座侧面，且根据基片定位环的尺寸结合尺寸刻度进行拧入尺寸调节，确保基片定位环圆心与半圆环圆心同一垂直线。