[实用新型]一种不积水的抛光头有效
申请号: | 201720904612.2 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN207139536U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 赵德文;路新春;陈祥玉 | 申请(专利权)人: | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 积水 抛光 | ||
1.一种不积水的抛光头,其特征在于,包括:
夹片组件;
盖体,所述盖体可移动地安装在所述夹片组件上且与所述夹片组件之间限定出容纳腔;
基体,所述基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于所述容纳腔内,所述基体与所述盖体紧密相连;
膜片,所述膜片分别与所述夹片组件和所述基体相连,且限定出密闭的腔室。
2.根据权利要求1所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述基体与所述盖体的内顶壁面配合连接。
3.根据权利要求2所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述基体包括:
中轴部,轴孔沿上下方向贯通所述中轴部,所述盖体的中心设有通孔,所述中轴部的上端穿过所述通孔;
外环部,所述外环部围绕所述中轴部设置,所述外环部与所述盖体通过螺栓相连。
4.根据权利要求1所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述夹片组件的上表面设有第二凹槽和部分位于所述盖体内的压盖,所述盖体在上下移动时与所述压盖至少有一部分相重合。
5.根据权利要求4所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述压盖与所述夹片组件之间设有第一密封圈。
6.根据权利要求3所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述外环部的上表面和所述盖体的内顶面中的一个上设有第二密封圈。
7.根据权利要求3所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述中轴部的外周面与所述通孔的内周壁紧密贴合。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述盖体包括:
顶盖,所述基体与所述顶盖紧密相连;
围板,所述围板围绕所述顶盖设置且从所述顶盖的外周沿向下延伸。
9.根据权利要求8所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述顶盖水平设置。
10.根据权利要求9所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述顶盖与所述围板之间通过圆弧部相连。
11.根据权利要求9所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述顶盖与所述围板之间通过倾斜部相连。
12.根据权利要求8所述的不积水的抛光头,其特征在于,所述顶盖沿从其中心处向所述围板处的方向逐渐向下倾斜地设置。
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