[实用新型]一种晶圆打光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及了打光设备领域，特别是涉及了一种晶圆打光装置。

背景技术

随着LED(Light Emitting Diode)产品的普及，如LED大显示器、LED灯、LED晶圆等，现有的LED产品具有节能、长寿命、环保、亮度大等特点。

在传统的LED晶圆加工中，使用到的光源包括有不可视红外光源和可视光源，不可视红外光源的特点为可穿透镀层打光，可视光源包括蓝光、白光等光源，其特点为不可穿透镀层打光。

传统LED晶圆的打光设备采用的都是单一光源，比如可视光源或不可视的红外光源，该加工设备存在部分产品无法加工、效率低、良率差、成像差等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术存在的技术问题，提供一种晶圆打光装置，主要解决了传统LED晶圆的打光设备存在部分产品无法加工、效率低、良率差、成像差的问题。

为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为：

本实用新型所提供了一种晶圆打光装置，包括支架组件、光源组件、相机、支架安装座、夹料平台以及相机安装架；

所述支架安装座、所述夹料平台、所述相机安装架由上至下依次组合安装在一起，所述支架组件组合安装在所述支架安装座上；

所述光源组件固定在所述支架组件上，待打光的晶圆放置在所述夹料平台上，且位于所述光源组件下方；

所述相机安装架上设置有滑轨，所述滑轨滑动连接有一移动平台，所述相机组合安装在所述移动平台上，所述相机随着所述移动平台在所述滑轨上左右移动；

所述光源组件包括可视光源组、不可视光源组以及外壳；所述外壳内部中空，所述可视光源组、所述不可视光源组均设有两排，且所述两排可视光源组和所述两排不可视光源组并列设置在所述外壳的内部。

作为本实用新型的进一步改进，所述可视光源组由一个或多个蓝色光源灯珠组成，所述不可视光源组由一个或多个红外光源灯珠组成。

作为本实用新型的进一步改进，所述可视光源组由一个或多个蓝色光源灯珠组成，所述不可视光源组由一个或多个红外光源灯珠组成。

作为本实用新型的进一步改进，所述外壳的形状包括长方形、圆形、正方形。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹料平台包括支撑板、底板、夹紧件、两个导轨、四个滑块以及旋转料台；

所述相机安装架固定安装在所述支撑板底面，所述两个导轨对称固定在所述支撑板上，所述四个滑块分为两组，且所述两组滑块的底面分别滑动连接在所述两个导轨上，所述四个滑块的顶面分别与所述底板固定连接，所述旋转料台固定在所述底板的中间区域，所述夹紧件环绕所述底板设置并固定在所述底板上。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑板、所述底板以及所述旋转料台对应于放置所述晶圆的区域均加工有通孔，所述相机设于所述通孔的正下方。

作为本实用新型的进一步改进，所述支架组件包括安装座、第一光源支架以及第二光源支架；

所述安装座固定在所述支架安装座，所述安装座上加工有腰形孔，所述第一光源支架、所述第二光源支架通过螺丝对称安装在所述安装座的腰形孔中。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一光源支架上加工有第一腰形槽，所述第二光源支架上加工有第二腰形槽；

所述光源组件的数量包括两个，所述两个光源组件通过螺丝分别安装在所述第一腰形槽和第二腰形槽上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实施例中可通过所述光源组件中各种光源的组合对所述晶圆进行打光，提高了所述相机的成像质量，提高了所述晶圆加工的良率及效率，且本实施例所述的晶圆打光装置适应多种晶圆的打光。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述的晶圆打光装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述支架组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述光源组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例所述不可视光源组对有镀层DBR晶圆打光的一个效果示意图；

图5为本实用新型实施例所述不可视光源组对无镀层DBR晶圆打光的另一个效果示意图。