[实用新型]一种晶圆打光装置

权利要求书

1.一种晶圆打光装置，其特征在于；包括支架组件、光源组件、相机、支架安装座、夹料平台以及相机安装架；

所述支架安装座、所述夹料平台、所述相机安装架由上至下依次组合安装在一起，所述支架组件组合安装在所述支架安装座上；

所述光源组件固定在所述支架组件上，待打光的晶圆放置在所述夹料平台上，且位于所述光源组件下方；

所述相机安装架上设置有滑轨，所述滑轨滑动连接有一移动平台，所述相机组合安装在所述移动平台上，所述相机随着所述移动平台在所述滑轨上左右移动；

所述光源组件包括可视光源组、不可视光源组以及外壳；所述外壳内部中空，所述可视光源组、所述不可视光源组均设有两排，且所述两排可视光源组和所述两排不可视光源组并列设置在所述外壳的内部。

2.根据权利要求1所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述可视光源组由一个或多个蓝色光源灯珠组成，所述不可视光源组由一个或多个红外光源灯珠组成。

3.根据权利要求1所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述可视光源组、所述不可视光源组中的各个光源灯珠均与光源控制器电性连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述外壳的形状包括长方形、圆形、正方形。

5.根据权利要求1所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述夹料平台包括支撑板、底板、夹紧件、两个导轨、四个滑块以及旋转料台；

所述相机安装架固定安装在所述支撑板底面，所述两个导轨对称固定在所述支撑板上，所述四个滑块分为两组，且所述两组滑块的底面分别滑动连接在所述两个导轨上，所述四个滑块的顶面分别与所述底板固定连接，所述旋转料台固定在所述底板的中间区域，所述夹紧件环绕所述底板设置并固定在所述底板上。

6.根据权利要求5所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述支撑板、所述底板以及所述旋转料台对应于放置所述晶圆的区域均加工有通孔，所述相机设于所述通孔的正下方。

7.根据权利要求1所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述支架组件包括安装座、第一光源支架以及第二光源支架；

所述安装座固定在所述支架安装座，所述安装座上加工有腰形孔，所述第一光源支架、所述第二光源支架通过螺丝对称安装在所述安装座的腰形孔中。

8.根据权利要求7所述的晶圆打光装置，其特征在于：所述第一光源支架上加工有第一腰形槽，所述第二光源支架上加工有第二腰形槽；

所述光源组件的数量包括两个，所述两个光源组件通过螺丝分别安装在所述第一腰形槽和第二腰形槽上。