[实用新型]一种用于硅片生产的洁净型清洗设备有效
申请号: | 201720888824.6 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN207170382U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 何帆;贾曦;张东;邓茹;梅艳 | 申请(专利权)人: | 乐山职业技术学院 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 614000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 生产 洁净 清洗 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种清洗设备,尤其涉及一种用于硅片生产的洁净型清洗设备。
背景技术
根据材料的不同,太阳电池可分为晶体硅太阳电池(单晶、多晶)、非晶硅太阳电池、化合物太阳电池(GaAs、CIGS、CdTe等)、有机物太阳电池等。其中,晶体硅太阳电池以其原材料储存丰富、技术路线成熟、使用性能稳定、光电转化效率较高等优点占据了市场主导地位。
晶体硅太阳电池是以晶体硅片作为基底,经过清洗制绒、热扩散、背刻蚀、镀减反膜、丝网印刷、烧结等工艺制成。而晶体硅片分为单晶硅硅片和多晶硅片,单晶硅片是由单晶硅棒切割得来,多晶硅片是由多晶硅碇切割形成。无论是单晶硅片生产还是多晶硅片生产在切割完后都需要进行清洗,现有的硅片清洗设备存在清洗不彻底,清洗效率较低的缺点,因此亟需研发一种清洗全面,清洗效率高的用于硅片生产的洁净型清洗设备。
实用新型内容
(1)要解决的技术问题
本实用新型为了克服现有的硅片清洗设备存在着清洗不彻底,清洗效率低的缺点,本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗全面,清洗效率高的用于硅片生产的洁净型清洗设备。
(2)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种用于硅片生产的洁净型清洗设备,包括有底板、支杆、清洗框、网板、驱动机构、旋转机构、顶板、摆动机构、平皮带、钢丝绳、网框和支撑杆,支撑杆固接于底板一端部;旋转机构固接于底板远离支撑杆的端部,旋转机构用于搅动清洗液;顶板固接于支撑杆顶部;驱动机构固接于底板,且位于支撑杆和旋转机构之间,旋转机构与驱动机构传动连接;摆动机构固接于顶板,且通过平皮带与驱动机构传动连接,摆动机构用于带动网框摆动;两支杆一端部固接于底板,且位于旋转机构两侧,另一端部固接于清洗框;网板固接于清洗框内部,网框通过钢丝绳与顶板连接,且网框位于网板上方。
优选地,驱动机构包括有滑轨、滑块、第一齿条、安装板、电机、第一转轴、第一皮带轮、第一转盘、滑动轴、摆动杆、扇形齿轮和第二齿条,滑轨固接于底板;第一齿条通过滑块与滑轨滑动连接,且与第二齿条一端部固接;安装板沿竖直方向固接于底板,电机固接于安装板;第一转轴一端部与电机输出端传动连接,第一皮带轮与第一转盘固接于第一转轴,且第一转盘与电机之间的距离大于第一皮带轮与电机之间的距离;滑动轴固接于第一转盘一侧部;摆动杆与安装板一侧部铰接且摆动杆上开设有供滑动轴贯穿的一字孔;扇形齿轮固接于摆动杆底部,且扇形齿轮与第一齿条啮合。
优选地,旋转机构包括有第二齿条、第一轴承座、第二转轴、圆柱齿轮、密封圈和叶片,第一轴承座固接于底板;第二转轴枢接于第一轴承座;圆柱齿轮固接于第一转轴下部,且与第二齿条啮合;密封圈固接于清洗框底部,第一转轴一端部贯穿密封圈与叶片固接。
优选地,摆动机构包括有第二轴承座、第三转轴、第二皮带轮、第二转盘、连杆、滑套和滑杆,滑套固接于顶板;滑杆贯穿滑套,且滑杆与滑套滑动连接;滑杆远离连杆的一端部开设有供钢丝绳贯穿的导向孔;第二轴承座固接于顶板;第三转轴一端部与第二轴承座枢接,第二皮带轮和第二转盘固接于第三转轴,且第二转盘与第二轴承座之间的距离大于第二皮带轮与第二轴承座之间的距离;连杆一端部与第二转盘铰接,另一端部与滑杆铰接。
优选地,该用于硅片生产的洁净型清洗设备还包括有出液管和阀门;出液管固接于清洗框一侧部,且与清洗框内联通;阀门安装于出液管。
工作原理:当需要清洗硅片时,工人首先把硅片放入网框内,然后将清洗液倒入清洗框内,接着控制驱动机构运转,驱动机构带动旋转机构和摆动机构运转,进而搅动清洗液以及带动网框摆动,当清洗完毕,工人再控制驱动机构停止运转,工人从网框中取出清洗后的硅片。摆动机构和旋转机构的双重作用,使得硅片能全面清洗,提高清洗效率。
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