[实用新型]一种用于硅片生产的洁净型清洗设备

权利要求书

1.一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，包括有底板（1）、支杆（2）、清洗框（3）、网板（4）、驱动机构（5）、旋转机构（6）、顶板（7）、摆动机构（8）、平皮带（9）、钢丝绳（10）、网框（11）和支撑杆（12），支撑杆（12）固接于底板（1）一端部；旋转机构（6）固接于底板（1）远离支撑杆（12）的端部，旋转机构（6）用于搅动清洗液；顶板（7）固接于支撑杆（12）顶部；驱动机构（5）固接于底板（1），且位于支撑杆（12）和旋转机构（6）之间，旋转机构（6）与驱动机构（5）传动连接；摆动机构（8）固接于顶板（7），且通过平皮带（9）与驱动机构（5）传动连接，摆动机构（8）用于带动网框（11）摆动；两支杆（2）一端部固接于底板（1），且位于旋转机构（6）两侧，另一端部固接于清洗框（3）；网板（4）固接于清洗框（3）内部，网框（11）通过钢丝绳（10）与顶板（7）连接，且网框（11）位于网板（4）上方。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，驱动机构（5）包括有滑轨（51）、滑块（52）、第一齿条（53）、安装板（54）、电机（55）、第一转轴（56）、第一皮带轮（57）、第一转盘（58）、滑动轴（59）、摆动杆（510）、扇形齿轮（512）和第二齿条（513），滑轨（51）固接于底板（1）；第一齿条（53）通过滑块（52）与滑轨（51）滑动连接，且与第二齿条（513）一端部固接；安装板（54）沿竖直方向固接于底板（1），电机（55）固接于安装板（54）；第一转轴（56）一端部与电机（55）输出端传动连接，第一皮带轮（57）与第一转盘（58）固接于第一转轴（56），且第一转盘（58）与电机（55）之间的距离大于第一皮带轮（57）与电机（55）之间的距离；滑动轴（59）固接于第一转盘（58）一侧部；摆动杆（510）与安装板（54）一侧部铰接且摆动杆（510）上开设有供滑动轴（59）贯穿的一字孔（511）；扇形齿轮（512）固接于摆动杆（510）底部，且扇形齿轮（512）与第一齿条（53）啮合。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，旋转机构（6）包括有第二齿条（513）、第一轴承座（61）、第二转轴（62）、圆柱齿轮（63）、密封圈（64）和叶片（65），第一轴承座（61）固接于底板（1）；第二转轴（62）枢接于第一轴承座（61）；圆柱齿轮（63）固接于第一转轴（56）下部，且与第二齿条（513）啮合；密封圈（64）固接于清洗框（3）底部，第一转轴（56）一端部贯穿密封圈（64）与叶片（65）固接。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，摆动机构（8）包括有第二轴承座（81）、第三转轴（82）、第二皮带轮（83）、第二转盘（84）、连杆（85）、滑套（86）和滑杆（87），滑套（86）固接于顶板（7）；滑杆（87）贯穿滑套（86），且滑杆（87）与滑套（86）滑动连接；滑杆（87）远离连杆（85）的一端部开设有供钢丝绳（10）贯穿的导向孔（88）；第二轴承座（81）固接于顶板（7）；第三转轴（82）一端部与第二轴承座（81）枢接，第二皮带轮（83）和第二转盘（84）固接于第三转轴（82），且第二转盘（84）与第二轴承座（81）之间的距离大于第二皮带轮（83）与第二轴承座（81）之间的距离；连杆（85）一端部与第二转盘（84）铰接，另一端部与滑杆（87）铰接。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，该用于硅片生产的洁净型清洗设备还包括有出液管（13）和阀门（14）；出液管（13）固接于清洗框（3）一侧部，且与清洗框（3）内联通；阀门（14）安装于出液管（13）。