[实用新型]一种硅片制绒清洗机用连体槽有效
| 申请号： | 201720861976.7 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN206976296U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 邵玉林 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;B01F7/18;B01F15/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 连体 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片制绒清洗机用连体槽，其特征在于：包括槽体、嵌套设置在槽体内的盛料装置及液体搅拌装置；所述槽体两侧内壁均具有一嵌槽；所述盛料装置包括可嵌套设置在槽体内的箱体及由箱体上端两侧向外延伸的支撑板，所述支撑板下端具有一磁铁A；所述液体搅拌装置包括支撑架及固定在支撑架上的若干搅拌叶；所述支撑架包括嵌套设置在嵌槽内的若干拉杆、固定在对称设置的拉杆下端的若干连接杆A及垂直于连接杆A设置的若干连接杆B；所述拉杆上端具有一与磁铁A相吸的磁铁B，所述磁铁B嵌套设置在磁铁A内部；相邻所述连接杆A和连接杆B之间形成一空腔，所述空腔内设置有呈X型的加强板；所述搅拌叶设置在加强板中部下端，内部呈中空状。
2.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗机用连体槽，其特征在于：所述连接杆A和连接杆B上端均布设置有若干呈中空状的浮筒。
3.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗机用连体槽，其特征在于：所述拉杆的高度与槽体的高度相同。
4.根据权利要求1所述的一种硅片制绒清洗机用连体槽，其特征在于：所述支撑架下端面与箱体下端面之间的距离为10～25cm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
