[实用新型]一种包覆型芯片尺寸封装结构有效
申请号: | 201720832468.6 | 申请日: | 2017-07-10 |
公开(公告)号: | CN206907755U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 徐虹;张黎;陈栋;陈锦辉;赖志明 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214429 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 包覆型 芯片 尺寸 封装 结构 | ||
1.一种包覆型芯片尺寸封装结构,其包括硅基本体(111)和芯片电极(113),所述硅基本体(111)的正面设置钝化层(210)并开设钝化层开口(213),所述芯片电极(113)由背面嵌入硅基本体(111)的正面,所述钝化层开口(213)露出芯片电极(113)的正面,
其特征在于,所述钝化层(210)的上表面设置介电层Ⅰ(310)并开设介电层Ⅰ开口(311),所述介电层Ⅰ开口(311)露出芯片电极(113)的正面,所述介电层Ⅰ(310)不覆盖到钝化层(210)的边缘;
所述芯片电极(113)的上表面设置凸块底部金属,所述凸块底部金属由下而上依次包括金属种子层Ⅰ(410)、金属层Ⅰ(510),并在金属层Ⅰ(510)上设置焊球(600);
所述硅基本体(111)的四周和背面设置包封层Ⅰ(121),所述包封层Ⅰ(121)向上延展覆盖钝化层(210)的裸露部分,其上表面与介电层Ⅰ(310)的上表面齐平,所述包封层Ⅰ(121)为一体结构。
2.根据权利要求1所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于:所述硅基本体(111)的侧壁是垂直的。
3.根据权利要求1所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于: 所述硅基本体(111)的侧壁设有台阶。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于:所述硅基本体(111)的背面设置硅基加强层(115)。
5.一种包覆型芯片尺寸封装结构,其包括硅基本体(111)和芯片电极(113),所述硅基本体(111)的正面设置钝化层(210)并开设钝化层开口(213),所述芯片电极(113)由背面嵌入硅基本体(111)的正面,所述钝化层开口(213)露出芯片电极(113)的正面,
其特征在于,所述钝化层(210)的上表面设置介电层Ⅰ(310)并开设介电层Ⅰ开口(311),所述介电层Ⅰ开口(311)露出芯片电极(113)的正面,所述介电层Ⅰ(310)不覆盖到钝化层(210)的边缘,其上依次覆盖金属种子层Ⅰ(410)、金属层Ⅰ(510)和介电层Ⅱ(320),所述介电层Ⅱ(320)开设介电层开口(321)露出金属层Ⅰ(510);
所述金属层Ⅰ(510)的上表面设置凸块底部金属Ⅱ,所述凸块底部金属Ⅱ由下而上依次包括金属种子层Ⅱ(420)、金属层Ⅱ(520),并在金属层Ⅱ(520)上设置焊球(600);
所述硅基本体(111)的四周和背面设置包封层Ⅱ(123),所述包封层Ⅱ(123)向上延展覆盖钝化层(210)的裸露部分,其上表面与介电层Ⅱ(320)的上表面齐平,所述包封层Ⅱ(123)为一体结构。
6.根据权利要求5所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于:所述硅基本体(111)的侧壁是垂直的。
7.根据权利要求5所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于: 所述硅基本体(111)的侧壁设有台阶。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的包覆型芯片尺寸封装结构,其特征在于:所述硅基本体(111)的背面设置硅基加强层(115)。
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