[实用新型]一种集成式MEMS充油压力传感器

权利要求书

1.一种集成式MEMS充油压力传感器，包括金属基座，所述金属基座内设有环形的凸台，其特征在于，所述凸台上安装有双层电路板，所述双层电路板的上侧面上设有压力芯片和集成电路芯片，所述双层电路板上设有与所述压力芯片和所述集成电路芯片相连的处理电路，所述压力芯片和所述集成电路芯片通过邦线相连；所述金属基座的上端还通过焊环焊接有金属膜片，所述金属膜片、所述金属基座、所述凸台和所述双层电路板围成的油腔内填充有硅油，所述凸台与所述双层电路板通过密封胶粘接相连并保持密封；所述凸台的下侧还固定有与所述双层电路板相连的外设电路板，所述双层电路板上设有过电孔，通过所述过电孔连接所述双层电路板的上下两侧并与所述外设电路板相连，所述外设电路板上设有外围元器件。

2.根据权利要求1所述的集成式MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述过电孔设置在所述双层电路板的周边且所述过电孔的下端被所述凸台遮挡并由密封胶密封。

3.根据权利要求1所述的集成式MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述金属基座上设有注油孔，所述注油孔一端与油腔相通，所述注油孔的另一端设有密封钢球。

4.根据权利要求3所述的集成式MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述外设电路板上与所述注油孔对应的位置还设有避让圆孔。

5.根据权利要求4所述的集成式MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述金属基座和所述金属膜片的材质均为不锈钢。

6.根据权利要求5所述的集成式MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述金属基座的外周面上设有凹槽，所述凹槽内安装有密封圈。