[实用新型]一种硅片插片装置有效
申请号: | 201720824180.4 | 申请日: | 2017-07-10 |
公开(公告)号: | CN207199575U | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 黄昱;方荣;李中心;于松;付月姣 | 申请(专利权)人: | 镇江大成新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 康潇 |
地址: | 212000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其是一种硅片插片装置。
背景技术
硅片在生成完毕之后需要对其插入到硅片框上之后在进行运输操作,目前硅片的插片操作由人工操作,导致生成效率低下,工人劳动强度高。
实用新型内容
为了克服现有的硅片插片存在的不足,本实用新型提供了一种硅片插片装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片插片装置,包括底座,底座上通过安装架安装有气缸一,底座上固定有气泵,气缸一的末端连接硅片座,与硅片座同一轴线上安装有硅片框,硅片框通过气缸二固定在底座上。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座两侧焊接有引导板,引导板的高度超出硅片座的高度。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座与气缸一之间通过连接板连接,连接板的上沿超出硅片座的表面。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座上均匀排布有吸盘。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片框和气缸二之间通过连接架连接,硅片框和连接架都为“U”字型。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,连接架的高度超过连接板的高度。
本实用新型的有益效果是,这种硅片插片装置在使用的时候,能够快速的将硅片插入到硅片框内,实现了快速插入硅片的目的,提高了工作效率,降低了工人的劳动量,满足使用需求。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的侧视图;
图中1、底座,2、气缸一,3、气泵,4、硅片座,5、吸盘,6、连接板,7、引导板,8、硅片框,9、安装架,10、气缸二,11、连接架。
具体实施方式
如图1-2是本实用新型的结构示意图,一种硅片插片装置,包括底座1,底座1上通过安装架9安装有气缸一2,底座1上固定有气泵3,气缸一2的末端连接硅片座4,与硅片座4同一轴线上安装有硅片框8,硅片框8通过气缸二10固定在底座1上。
这种硅片插片装置在使用的时候,将硅片放置在硅片座4上,气泵3驱动气缸一2使硅片座4向前移动,使硅片插入到硅片框8的硅片槽内,硅片在初始位置的时候,硅片的高度与硅片框8内的最上一条的硅片槽齐平,气缸二10控制硅片框8每次上升一个硅片槽的高度,这样在插入最上的硅片之后能够依次往下插入,实现自动插入硅片的目的。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座4两侧焊接有引导板7,引导板7的高度超出硅片座4的高度。
引导板7的之间的宽度略大于硅片的宽度,这样硅片在放入到硅片座4上的时候,硅片不会发送较大的位置便宜,放插入时硅片的位置不会偏出硅片框8的硅片槽,引导板7的高度超出硅片座4的高度,方便硅片的安放。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座4与气缸一2之间通过连接板6连接,连接板6的上沿超出硅片座4的表面。
连接板6的上沿超出硅片座4的表面,方便硅片的一侧贴近连接板6,使硅片的一侧进行定位。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片座4上均匀排布有吸盘5。
吸盘5能够将对硅片进行初步的定位,满足插片的需求。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,硅片框8和气缸二10之间通过连接架11连接,硅片框8和连接架11都为“U”字型。
根据本实用新型的另一个实施例,进一步包括,连接架11的高度超过连接板6的高度。
“U”字型的硅片框8和连接架11,方便连接板6和硅片座4深入到硅片框8和连接架11之内,方便硅片的插入。
以上说明对本实用新型而言只是说明性的,而非限制性的,本领域普通技术人员理解,在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下,可做出许多修改、变化或等效,但都将落入本实用新型的保护范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造