[实用新型]一种高精度检测台和检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及高精度检测技术领域，特别涉及一种高精度检测台和检测装置。

背景技术

当前光学检测的检测台无非两种：一种是固定的大理石或者金属平台，测量模块运动；另一种是采用精密丝杆为驱动和滚珠导轨为导向；第一种测量模块运动有着天然的弊端，运动过程的震动和不确定性会被放大，对测量的结果影像很大，对测量的过程也增加了很多难题；第二种方式对一般的检测可以满足要求，但是其体积比较大，实际空间利用率小，另外对于精密测量的话，由于丝杆和导轨都是滚珠形式的，它们在运动的时候不可避免的会产生高度方向的跳动，在微米级或者以下的测量过程来说就过于粗糙了

传统的测试平台用滚珠丝杆，丝杠头尾都要有轴承座支撑，加上联轴器加上电机，整个驱动部件的长度增加了，浪费了很多的空间在附属部件上。

滚珠丝杠本质是滚珠和丝杠导槽之间相对运动，滚珠的接触面小所以刚性也小，另外滚珠之间可能存在碰撞，导致了运动过程中产生了额外的力。会造成不确定的小跳动，从而对精密检测，特别是厚度的精密检测造成额外的误差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于针对现有技术中的不足之处，提供一种高精度检测台和检测装置。机构更加紧凑，运动平面度达到厚度检测的标准。采用非滚珠刚性轨道使得XY方向的定位精度更精准。同时在平时不测量的状态是个密闭的盒子状，具有一定的防尘作用，只有在检测的时候才会露出一部分内部结构；同时，驱动方式采用直线马达，隔绝了驱动会产生的跳动和震动，减低机构运动产生的震动跳动对测量结果的影响。

本实用新型解决技术问题采用的技术手段是提供一种高精度检测台，通过光模块对所述高精度检测台上的物体进行检测，包括上轴主体、下轴主体、上轴直线电机、下轴直线电机、两个上轴导轨、两个下轴导轨和检测台面板；两个所述下轴导轨和所述下轴直线电机均设置在所述下轴主体上，两个所述下轴导轨对称设置在所述下轴直线电机的两侧，所述上轴主体架设在所述下轴导轨上；两个所述上轴导轨和所述上轴直线电机均设置在所述上轴主体上，两个所述上轴导轨对称设置在所述上轴直线电机的两侧，所述检测台面板架设在所述上轴导轨上。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述上轴直线电机为上轴磁悬浮直线电机，所述上轴磁悬浮直线电机包括上轴定子和上轴动子，所述上轴定子固定在所述上轴主体上，所述上轴动子固定在所述检测台面板上。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述下轴直线电机为下轴磁悬浮直线电机，所述下轴磁悬浮直线电机包括下轴定子和下轴动子，所述下轴定子固定在所述下轴主体上，所述下轴动子固定在所述上轴主体上。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述上轴轨道为非滚珠刚性轨道。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述下轴轨道为非滚珠刚性轨道。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述高精度检测台还包括控制器和光学尺。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述光学尺的包括尺子和读头。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述光学尺的分辨率为0.1μm。

在本实用新型提供的高精度检测台中，所述光模块包括光源，还包括CCD光学检测结构、白光共聚焦厚度检测结构、激光点云结构、线扫检测结构中一种或多种的组合。

在本实用新型提供的高精度检测台中，包括光模块以及权利要求1至9任一项所述的高精度检测台。

实施本实用新型中的高精度检测台和检测装置具有以下有益效果：

机构更加紧凑，运动平面度达到厚度检测的标准。采用非滚珠刚性轨道使得XY方向的定位精度更精准。同时在平时不测量的状态是个密闭的盒子状，具有一定的防尘作用，只有在检测的时候才会露出一部分内部结构；同时，驱动方式采用直线马达，隔绝了驱动会产生的跳动和震动，减低机构运动产生的震动跳动对测量结果的影响。

附图说明

图1显示为本实用新型中高精度检测台的结构示意图。

图2显示为图1的爆炸图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。