[实用新型]一种高精度检测台和检测装置

权利要求书

1.一种高精度检测台，通过光模块对所述高精度检测台上的物体进行检测，其特征在于，包括上轴主体、下轴主体、上轴直线电机、下轴直线电机、两个上轴导轨、两个下轴导轨和检测台面板；两个所述下轴导轨和所述下轴直线电机均设置在所述下轴主体上，两个所述下轴导轨对称设置在所述下轴直线电机的两侧，所述上轴主体架设在所述下轴导轨上；两个所述上轴导轨和所述上轴直线电机均设置在所述上轴主体上，两个所述上轴导轨对称设置在所述上轴直线电机的两侧，所述检测台面板架设在所述上轴导轨上。

2.根据权利要求1所述的高精度检测台，其特征在于，所述上轴直线电机为上轴磁悬浮直线电机，所述上轴磁悬浮直线电机包括上轴定子和上轴动子，所述上轴定子固定在所述上轴主体上，所述上轴动子固定在所述检测台面板上。

3.根据权利要求1所述的高精度检测台，其特征在于，所述下轴直线电机为下轴磁悬浮直线电机，所述下轴磁悬浮直线电机包括下轴定子和下轴动子，所述下轴定子固定在所述下轴主体上，所述下轴动子固定在所述上轴主体上。

4.根据权利要求1所述的高精度检测台，其特征在于，所述上轴轨道为非滚珠刚性轨道。

5.根据权利要求1所述的高精度检测台，其特征在于，所述下轴轨道为非滚珠刚性轨道。

6.根据权利要求1所述的高精度检测台，其特征在于，所述高精度检测台还包括控制器和光学尺。

7.根据权利要求6所述的高精度检测台，其特征在于，所述光学尺的包括尺子和读头。

8.根据权利要求6所述的高精度检测台，其特征在于，所述光学尺的分辨率为0.1μm。

9.根据权利要求1至8任一项所述的高精度检测台，其特征在于，所述光模块包括光源，还包括CCD光学检测结构、白光共聚焦厚度检测结构、激光点云结构、线扫检测结构中一种或多种的组合。

10.一种检测装置，其特征在于，包括光模块以及权利要求1至9任一项所述的高精度检测台。