[实用新型]蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，属于蓝宝石衬底加工技术领域。

背景技术

DMP是通过金刚石抛光液对蓝宝石衬底片进行机械抛光，一般称铜抛或单面研磨，通过在铜盘上喷洒金刚石液进行抛光或研磨。蓝宝石DMP加工过程中，最主要的质量指标是TTV(平整度)，而蓝宝石衬底DMP后的TTV主要影响因素是铜盘和研磨头的平整度。铜盘的平整度通过控制一个稳定的温度下使用修盘刀修成一定的形状，随着研磨温度的变化可以控制铜盘平整度。而研磨头的平整度，在起始平整度的基础上，随着温度的变化也会发生起伏变化。现有的大部分蓝宝石衬底DMP设备，研磨头上都增加了冷却水系统，用于辅助温度的控制。现有的DMP设备大部分都有四个研磨轴，如果四个研磨轴中冷却水流量不一致，会导致其降温效果产生差异。但，蓝宝石衬底片在研磨过程中，现有冷却水系统会出现四个研磨头温度不一致，研磨头平整度就会出现偏差，从而导致加工后蓝宝石衬底片TTV不一致。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有研磨头冷却系统存在的上述缺陷，提出了一种蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，通过在研磨轴冷却水回水端安装高精度的流量计进行各研磨头水流量的实时监控，通过控制器控制水压调节阀实现各研磨头冷却水流量偏离设定值时自动调节研磨轴的入水端水压从而恢复冷却水的流量。

本实用新型是采用以下的技术方案实现的：包括冷水机，冷水机上设有水箱，水箱出口连接有冷水机出水管，出水管上设有水泵，水泵泵出的冷却水经分流器分流并经与研磨轴连接的分流管流向研磨头，研磨头设置在研磨轴的下方，每个分流管上设有水压调节阀，冷水机、水泵和水压调节阀均与控制器的输出端连接，还包括与控制器输入端连接的流量计。

进一步地，所述流量计设置在回水管上，回水管与研磨轴连接。

进一步地，所述流量计设置在分流管上。

进一步地，还包括与控制器连接的触摸屏。

进一步地，还包括与控制器连接的报警器。

进一步地，还包括与控制器连接的指示灯。

进一步地，所述控制器采用PLC控制器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，通过在研磨轴冷却水回水端安装高精度的流量计进行各研磨头冷却水流量的实时监控，通过控制器控制水压调节阀调节分流管的流量进而控制研磨轴的入水端水压使四个研磨头的冷却水的流量保持一致，从而实现了蓝宝石衬底片在研磨过程中四个研磨头的温度保持一致，防止研磨头平整度出现偏差而导致的蓝宝石衬底片TTV不一致；

(2)本实用新型所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，结构简单、功耗低、成本低；

(3)本实用新型所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，设有触摸屏、报警器和指示灯，方便操作，出现研磨头的冷却水流量不一致时及时报警，提高了蓝宝石衬底片质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的原理图。

图中：1、冷水机；2、水箱；3、出水管；4、水泵；5、分流器；6、水压调节阀；7、分流管；8、控制器；9、流量计；10、回水管。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚、明白，下面结合附图和具体实例，对本实用新型提出的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置进行进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一：