[实用新型]蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：包括冷水机(1)，冷水机(1)上设有水箱(2)，水箱(2)出口连接有冷水机(1)出水管(3)，出水管(3)上设有水泵(4)，水泵(4)泵出的冷却水经分流器(5)分流并经与研磨轴连接的分流管(7)流向研磨头，研磨头设置在研磨轴的下方，每个分流管(7)上设有水压调节阀(6)，冷水机(1)、水泵(4)和水压调节阀(6)均与控制器(8)的输出端连接，还包括与控制器(8)输入端连接的流量计(9)。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：所述流量计(9)设置在回水管(10)上，回水管(10)与研磨轴连接。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：所述流量计(9)设置在分流管(7)上。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：还包括与控制器(8)连接的触摸屏。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：还包括与控制器(8)连接的报警器。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：还包括与控制器(8)连接的指示灯。

7.根据权利要求1、4、5或6所述的蓝宝石衬底DMP设备研磨头冷却改进装置，其特征在于：所述控制器(8)采用PLC控制器(8)。