[实用新型]一种单晶硅加工用高温炭还原装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅加工用高温炭还原装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

申请号为201520550860.2，名称为一种活性炭还原装置的实用新型专利，包括进风口、前置活性炭网、前置齿条、净化仓、出风口、后置活性炭网、后置齿条、负离子净化头、清洁仓、控制盒、传动齿轮及密封隔板，其中，净化仓一侧固定设置有进风口，另一侧固定设置有出风口，净化仓上部固定设置有清洁仓，清洁仓与净化仓之间设置有密封隔板，清洁仓下部固定设置有传动齿轮，传动齿轮一侧啮合连接有前置齿条，前置齿条的侧壁上固定设置有前置活性炭网，传动齿轮的另一侧啮合连接有后置齿条，后置齿条的一侧固定设置有后置活性炭网，清洁仓两侧内壁上固定设置有负离子净化头，清洁仓上部固定设置有控制盒，该实用新型结构简单，使用方便，强度高且清洁净化活性炭网过程中，不需关闭风阀，净化空气程序保持稳定。

但是在对单晶硅进行高温炭还原操作的时候，很多的单晶硅材料都是板型结构，在还原装置内单晶硅不容易固定，导致设备对单晶硅的还原效果差，因此设计了一种单晶硅加工用高温炭还原装置。

实用新型内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种单晶硅加工用高温炭还原装置，通过真空炉体来保护加工过程，在真空炉体内设置一个石英坩埚用于炭还原的热加工处理，通过电发热体来实现对于石英坩埚的加热，均匀设置的电发热体使得热量均匀分布，通过在石英坩埚内部设置的活动式支撑装置，可很好的夹持单晶硅，便于单晶硅均匀受热，提高了单晶硅加工的效率，值得推广。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括真空炉体，所述真空炉体内部设置有支架，所述支架上设置有石英坩埚，所述石英坩埚外侧围绕有电发热体，所述电发热体下端通过引出电极连接有可控硅电源，所述真空炉体侧面上设置有真空抽气管道，所述真空抽气管道另一端连接有真空泵；

所述石英坩埚包括坩埚主体，所述坩埚主体上端设置有一密封盖，所述密封盖内设置有冷凝器，所述坩埚主体内壁上设置有安装法兰，所述安装法兰连接有支撑套管，所述支撑套管内部嵌套有夹臂，所述夹臂外侧套有伸缩弹簧。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空炉体外侧设置有壁挂安装脚与安装吊环，所述壁挂安装脚内设置有安装孔。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空炉体上设置有热电偶，所述热电偶连接有温度仪表。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空炉体上设置有人孔。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述安装法兰、支撑套管、夹臂与伸缩弹簧均采用钨铁合金材料制成。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述夹臂伸出支撑套管的一端端面为圆弧形结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过真空炉体来保护加工过程，在真空炉体内设置一个石英坩埚用于炭还原的热加工处理，通过电发热体来实现对于石英坩埚的加热，均匀设置的电发热体使得热量均匀分布，通过在石英坩埚内部设置的活动式支撑装置，可很好的夹持单晶硅，便于单晶硅均匀受热，提高了单晶硅加工的效率，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型石英坩埚结构示意图。

图中：1-真空炉体，2-支架，3-石英坩埚，4-电发热体，5-引出电极， 6-可控硅电源，7-真空抽气管道，8-真空泵，9-坩埚主体，10-密封盖，11- 冷凝器，12-安装法兰，13-支撑套管，14-夹臂，15-伸缩弹簧，16-壁挂安装脚，17-安装吊环，18-安装孔，19-热电偶，20-温度仪表，21-人孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：