[实用新型]一种应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种降低太阳能电池用N型少子寿命大于1000微秒的硅片脱胶成本的装置，特别一种用于降低太阳能用N型少子寿命大于1000微秒的硅片脱胶耗水量和脱胶剂用量的装置。通过改变脱胶系统的设计达到降低成本的目的。

背景技术

N型少子寿命大于1000微秒的硅片制得高转换效率太阳能电池的特性越来越受到光伏行业的重视。在硅片切割方面，当硅片切割完成之后，需要对硅片进行清洗脱胶。图1为目前常用的一种硅片清洗装置，该装置是针对由钢线+悬浮液+碳化硅颗粒等步骤组成的切割工艺而设计的，依次由预清洗槽、冷水喷淋槽、热水脱胶剂槽、热水喷淋槽、热水溢流清洗槽等五个器件构成，由于溢流清洗槽需要大流量水溢流和热水脱胶剂槽单独使用脱胶剂(无超声波强化)的原因，存在脱胶用水量大、脱胶剂用量大的不足。

随着技术进步，金钢线切割技术(金钢线(自带切割刃料的钢线)+水性冷却剂)已经越来越多的在硅片切割中得到了应用。该技术除了较好的解决了硅片表面金属污染问题，更是降低了切割成本。然而，硅片脱胶工序的制造成本仍然很高。因此，设计一种适合金钢线切割的硅片清洗脱胶工序的装置，成为了急待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服当前技术中硅片脱胶装置耗水量过大、脱胶剂耗用量过大的问题，提供的一种降低脱胶成本的装置。本实用新型提供的装置包括硅片脱胶系统的设计，调换了热水喷淋和冷水喷淋的位置，增加了喷淋槽中喷淋头的数量，省去了预清洗槽和热水溢流清洗槽。因此在达到清洗效果的同时，可以大量节约用水，降低了脱胶成本。

本实用新型的技术方案为：

一种应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置，该脱胶装置由三个独立部分组成，按照清洗次序依次为热水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽；

其中，所述的水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽的尺寸相同，均为650mm×450mm×450mm；超声波酸性脱胶剂槽底部分别设置直径6厘米排水孔和进水孔；热水喷淋槽和冷水喷淋槽均在各自的4个内侧板上设置有总计80-100个可上下扫动式喷淋头，底部设置直径6厘米排水孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型所述的应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置能在保证硅片脱胶质量的同时显著降低脱胶成本。使用本实用新型按月产100万片硅片计算，每月可节约脱胶成本1万元。具体如应用实例。

附图说明

图1常规太阳能电池用N型少子寿命大于1000微秒的硅片脱胶装置设计示意图；

图2本实用新型设计硅片脱胶装置工艺流程示意图；

图3为热水喷淋槽图，其中，图3a为热水喷淋槽主视图，图3b为热水喷淋槽俯视图；1为喷淋槽体，2为喷淋头，3为排水孔；

图4为超声波酸性脱胶剂槽图，其中，图4a为超声波酸性脱胶剂槽主视图，图4b为超声波酸性脱胶剂槽俯视图；4为酸性脱胶槽体，5为超声波振板，6为排水孔，7为进水孔；

图5为冷水喷淋槽图，其中，图5a为冷水喷淋槽主视图，图5b为冷水喷淋槽俯视图；8为喷淋槽体，9为喷淋头，10为排水孔。

具体实施方式

整个脱胶装置分为3个独立的部分，按照清洗次序依次为热水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽、冷水喷淋槽；待脱胶的硅棒依次通过热水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽、冷水喷淋槽完成脱胶过程；

所述的水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽的尺寸相同，均为长650mm×宽450mm×高450mm。其中，超声波酸性脱胶剂槽底部分别设置直径6厘米排水孔和进水孔；热水喷淋槽和冷水喷淋槽各自的4个内侧板上设置长度为25厘米的可上下扫动式喷淋头(总设计数量为80-100个(当前的装置中设置为50-70个)；本实施例是100个，喷淋槽的长边侧每侧设置有30个，短边侧每侧为20个)，底部设置直径6厘米排水孔。

应用实例一：本实用新型装置在单次装入4根待脱胶硅棒，脱胶6.5英寸硅片N型单晶片。其中所用N型单晶硅为晶龙集团生产的N型单晶硅(具体为电阻率5-10欧姆·厘米，少子寿命大于1000微秒)。

应用实例二：本实用新型装置在单次装入4根待脱胶硅棒，脱胶8英寸硅片N型单晶片。其中所用N型单晶硅为晶龙集团生产的N型单晶硅(具体为电阻率5-10欧姆·厘米，少子寿命大于1000微秒)。

所有应用实例采用相同的脱胶工艺。具体为：首先在热水喷淋槽喷淋4分钟，第二步在超声波酸性脱胶剂槽脱胶8分钟，第三步冷水喷淋槽喷淋4分钟。