[实用新型]用于微流控芯片的激光刻蚀机

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于微流控芯片的激光刻蚀机。

背景技术

目前制作高分子（PMMA）微流控芯片的方法是基于模具的模塑法，但其前期需结合LIGA技术、SU-8光刻技术以及硅的干法刻蚀等工艺进行微模具加工，对仪器的要求较高，前期制作费用较大，时间较长。

发明内容

本实用新型针对现有技术的不足，提供了解决上述问题的用于微流控芯片的激光刻蚀机。

为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：

用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜、烟雾净化器，所述烟雾净化器安装在封闭式机柜的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，所述封闭式机柜包括固定底板，所述固定底板固结在封闭式机柜的上表面另一侧边缘内，所述固定底板的一侧边缘内固定安装有夹具，所述固定底板的另一侧边缘固定安装有升降台，所述升降台上固接有二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器的一侧端面上配合安装有光具座，所述光具座置于夹具的正上方。

所述封闭式机柜还包括激光防护罩，所述激光防护罩包裹住封闭式机柜的上表面另一侧，且形成一个密闭空间，所述激光防护罩与烟雾净化器接通且固接为一体。

所述夹具包括连接板和真空吸附板，所述连接板和真空吸附板的四周分别开有定位孔，所述连接板通过定位孔固接在固定底板上，所述真空吸附板通过定位孔固接在连接板上，所述真空吸附板的上表面内形成有定位基准面和负压吸附面，所述负压吸附面的高度低于定位基准面的高度且两者之间形成有一圈回转凹槽，所述负压吸附面和定位基准面上开有若干个通气孔。

所述升降台包括支撑柱、刻度尺、激光器承载板、摇轮、固定把手，所述支撑柱固接在固定底板的另一侧边缘，所述支撑柱的一侧底端形成有支撑肋板，所述刻度尺粘贴在支撑柱的另一侧表面上，所述支撑柱的另一侧边缘内开有通槽，所述激光器承载板套在支撑柱的通槽内，所述二氧化碳激光器固定安装在激光器承载板上，所述摇轮安装在支撑柱的顶端上且与支撑柱内部的丝杠构成一体结构，所述摇轮通过丝杠与激光器承载板呈啮合连接，所述固定把手安装在支撑柱的一侧顶端边缘。

所述二氧化碳激光器包括计算机接口端和三维移动装置，所述三维移动装置与光具座配合安装在一起，所述二氧化碳激光器通过计算机接口端和计算机连接起来。

所述光具座包括X轴振镜、X轴扫描镜、Y轴振镜、Y轴扫描镜，所述X轴振镜和Y轴振镜配合安装在光具座的内部，所述X轴扫描镜连接在X轴振镜上，所述Y轴扫描镜连接在Y轴振镜上。

有益效果：本实用新型与现有技术相比较，其具有以下有益效果：

本实用新型用于微流控芯片的激光刻蚀机通过二氧化碳激光器和光具座可以在动态移动范围内进行全三维空间加工，对微结构设计、微图案设计都有较大的柔性，通过调节激光控制参数，可以实现打孔、线槽烧蚀、结构生成、连接等多种微操作，能任意更换、修改图档，可以大幅度节约时间，简化制作步骤，提高生产效率。

附图说明

图1为用于微流控芯片的激光刻蚀机的内部结构图。

图2为用于微流控芯片的激光刻蚀机的外形整体结构图。

图3为用于微流控芯片的激光刻蚀机的夹具的结构图。

图4为用于微流控芯片的激光刻蚀机的升降台的结构图。

图5为用于微流控芯片的激光刻蚀机的二氧化碳激光器与光具座的连接结构图。

图6为用于微流控芯片的激光刻蚀机的光具座的内部结构图。

具体实施方式