[实用新型]用于微流控芯片的激光刻蚀机

权利要求书

1.用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜（1）、烟雾净化器（2），所述烟雾净化器（2）安装在封闭式机柜（1）的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，其特征在于，所述封闭式机柜（1）包括固定底板（11），所述固定底板（11）固结在封闭式机柜（1）的上表面另一侧边缘内，所述固定底板（11）的一侧边缘内固定安装有夹具（3），所述固定底板（11）的另一侧边缘固定安装有升降台（4），所述升降台（4）上固接有二氧化碳激光器（5），所述二氧化碳激光器（5）的一侧端面上配合安装有光具座（6），所述光具座（6）置于夹具（3）的正上方。

2.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述封闭式机柜（1）还包括激光防护罩（12），所述激光防护罩（12）包裹住封闭式机柜（1）的上表面另一侧，且形成一个密闭空间，所述激光防护罩（12）与烟雾净化器（2）接通且固接为一体。

3.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述夹具（3）包括连接板（31）和真空吸附板（32），所述连接板（31）和真空吸附板（32）的四周分别开有定位孔，所述连接板（31）通过定位孔固接在固定底板（11）上，所述真空吸附板（32）通过定位孔固接在连接板（31）上，所述真空吸附板（32）的上表面内形成有定位基准面（321）和负压吸附面（322），所述负压吸附面（322）的高度低于定位基准面（321）的高度且两者之间形成有一圈回转凹槽，所述负压吸附面（322）和定位基准面（321）上开有若干个通气孔（323）。

4.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述升降台（4）包括支撑柱（41）、刻度尺（42）、激光器承载板（43）、摇轮（44）、固定把手（45），所述支撑柱（41）固接在固定底板（11）的另一侧边缘，所述支撑柱（41）的一侧底端形成有支撑肋板（411），所述刻度尺（42）粘贴在支撑柱（41）的另一侧表面上，所述支撑柱（41）的另一侧边缘内开有通槽，所述激光器承载板（43）套在支撑柱（41）的通槽内，所述二氧化碳激光器（5）固定安装在激光器承载板（43）上，所述摇轮（44）安装在支撑柱（41）的顶端上且与支撑柱（41）内部的丝杠构成一体结构，所述摇轮（44）通过丝杠与激光器承载板（43）呈啮合连接，所述固定把手（45）安装在支撑柱（41）的一侧顶端边缘。

5.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述二氧化碳激光器（5）包括计算机接口端（51）和三维移动装置（52），所述三维移动装置（52）与光具座（6）配合安装在一起，所述二氧化碳激光器（5）通过计算机接口端（51）和计算机连接起来。

6.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的激光刻蚀机，其特征在于，所述光具座（6）包括X轴振镜（61）、X轴扫描镜（62）、Y轴振镜（63）、Y轴扫描镜（64），所述X轴振镜（61）和Y轴振镜（63）配合安装在光具座（6）的内部，所述X轴扫描镜（62）连接在X轴振镜（61）上，所述Y轴扫描镜（64）连接在Y轴振镜（63）上。