[实用新型]半自动芯片外观检测标记装置有效
| 申请号: | 201720665936.5 | 申请日: | 2017-06-08 |
| 公开(公告)号: | CN207198054U | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
| 发明(设计)人: | 曾建武;刘格;陆一峰;杨彦伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89 |
| 代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)11343 | 代理人: | 尚志峰,汪海屏 |
| 地址: | 518071 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半自动 芯片 外观 检测 标记 装置 | ||
1.一种半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,包括:
底座;以及
安装于所述底座的可调节组件;
打点组件,与所述可调节组件固定连接;
显微镜成像系统,所述显微镜成像系统与所述打点组件配合设置固设于所述底座上,
其中,待检测芯片设于所述打点组件中的打点位置,所述显微镜成像系统的焦点与所述待检测芯片重合,将所成图像传输至显示屏幕。
2.根据权利要求1所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,所述打点组件包括:
墨盒;
连通所述墨盒的针管,所述针管垂直于所述墨盒设置;
打点器,与所述针管固定连接,所述打点器带动所述针管相对于所述墨盒伸缩移动。
3.根据权利要求2所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,还包括:
触碰开关,与所述打点器电连接,所述触碰开关控制所述打点器的工作状态。
4.根据权利要求1所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,所述可调节组件包括:
微动台,包括固定座以及安装于所述固定座上的多个可移动块,所述多个可移动块自上而下垂直于所述底座设置,相邻的两个所述可移动块之间分别设有导轨和导槽,所述导轨与所述导槽配合连接,所述多个可移动块之间的滑动轨迹相互交错;
调节支架,一端与所述底座转动连接,另一端与所述固定座固定连接。
5.根据权利要求4所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,
所述多个可移动块包括设置在最顶端的第一块,以及设置在所述第一块之下的多个第二块;
安装架,与所述第一块固定连接,所述打点组件安装于所述安装架。
6.根据权利要求5所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,所述微动台还包括:
第一调节螺杆,与所述固定座转动连接,所述第一调节螺杆与最底端的所述第二块配合设置,所述第一调节螺杆调节所述打点组件相对所述底座的垂直距离;
多个第二调节螺杆,设于每个所述第二块,每个所述第二调节螺杆与其上一层的所述可移动块配合设置,所述多个第二调节螺杆调节所述打点组件投影于所述底座的投影位置。
7.根据权利要求4所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,所述调节支架包括:
第一竖杆,一端与所述底座沿水平方向转动连接;
第一横杆,与所述第一竖杆的另一端沿竖直方向转动连接;
第二横杆,与所述固定座固定连接;
连接块,连接所述第一横杆和所述第二横杆。
8.根据权利要求7所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,所述连接块包括:
第一通孔,与所述第一横杆配合设置;
第二通孔,与所述第一横杆配合设置。
9.根据权利要求8所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,还包括:
第一锁紧孔,对应于所述第一通孔设于所述连接块;
第二锁紧孔,对应于所述第二通孔设于所述连接块,
其中,所述第一锁紧孔用于固定穿过所述第一通孔的所述第一横杆,所述第二锁紧孔用于固定穿过所述第二通孔的第二横杆。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,还包括:
安装凹槽,形成于所述底座上,所述安装凹槽固定所述显微镜成像系统中的光学镜头。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的半自动芯片外观检测标记装置,其特征在于,还包括:
输送装置;
多个安装位,设于所述输送装置上,任意一个所述安装位用于固定所述待检测芯片,
其中,所述输送装置将所述待检测芯片输送至所述打点组件中的打点位置,且所述输送装置使所述待检测芯片与所述显微镜成像系统的焦点重合。
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