[实用新型]蚀刻栏具及蚀刻装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃蚀刻技术领域，更具体地，涉及蚀刻栏具及蚀刻装置。

背景技术

液晶显示器是目前广泛使用的平板显示器之一，具有功耗低、外形薄、重量轻等特点。为了顺应各类带有液晶显示器的终端薄型化的发展趋势，需对液晶显示器的玻璃基板进行薄化处理。特别是移动终端、数码相机或手机等便携式显示装置领域中，显示装置的轻量化、薄型化成为重要的课题。此外，人们对显示器的显示效果的关注程度也越来越高，在玻璃基板加工过程中，其线距、线宽需要蚀刻得越来越细，均匀性也要求越来越严格。玻璃属于无机硅物质中的一种，非晶态固体，易碎、透明。它与我们的生活密不可分，现代人已不再满足于物理式机械手段加工玻璃，更致力于用多种化学方式对玻璃进行深加工，以求得到更好的视觉享受。为了减小玻璃的厚度，目前最广泛使用的一种方法是将玻璃浸入填充有蚀刻溶液的容器中并且使玻璃的表面通过蚀刻溶液被蚀刻。一般使用含有氢氟酸(HF)的蚀刻溶液进行这样的蚀刻处理，因为其具有优良的玻璃蚀刻作用。通过浸泡法辅以机械抛动或喷淋的手段，可将玻璃基板减薄至目标厚度。

在对玻璃基板进行薄化处理的过程中，需要用到蚀刻栏具。然而，现有浸泡式蚀刻栏具侧齿为平行设置的柱体，在蚀刻过程中，如图1a所示，由于栏具本体1上设置的侧齿2跟玻璃基板3容易大面积接触，蚀刻溶液(例如，氢氟酸溶液)流动不畅，蚀刻处理中的生成物无法及时带走，使得蚀刻反应不充分。如图1b所示，蚀刻完成后，玻璃基板3靠近侧齿2的位置会产生凸起4，即使通过打磨或研磨也无法去除，产品需报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蚀刻栏具及蚀刻装置，能够使玻璃基板与蚀刻溶液充分反应，不会产生凸起，厚度均一。

根据本实用新型的一方面，提供一种蚀刻栏具，包括栏具本体，所述栏具本体上设置有多个侧齿，相邻的两个所述侧齿用于定位待蚀刻的玻璃基板，所述侧齿具有镂空结构。

优选地，所述侧齿具有在与所述栏具本体接触的底端到远离所述栏具本体的顶端的方向上逐渐减少的横截面积。

优选地，所述侧齿为椎体。

优选地，所述侧齿的横截面是多边形。

优选地，所述侧齿为圆锥体。

优选地，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿与所述栏具本体形成小于90°的夹角。

优选地，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿与所述栏具本体间的夹角为45°。

优选地，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿在所述栏具本体上的正投影的宽度为1mm。

优选地，在垂直于所述玻璃基板的方向上，相邻的所述侧齿在所述栏具本体上的正投影间的距离为1.2mm。

根据本实用新型的另一方面，提供一种蚀刻装置，包括：本实用新型的一方面提供的蚀刻栏具。

本实用新型实施例中的蚀刻栏具的侧齿具有镂空结构,不仅可以使蚀刻溶液与玻璃基板充分接触，还可以增加蚀刻溶液的回流面积，有利于蚀刻溶液及时地带走蚀刻过程中的生成物。本实用新型实施例中的蚀刻栏具可以避免玻璃基板靠近侧齿的部分产生凸起，使玻璃基板的厚度均一。在一些优选的实施例中，侧齿可以是与栏具本体呈45°角的圆锥形，更有利于蚀刻溶液的回流。本实用新型实施例中的蚀刻装置包括上述蚀刻栏具，可以应用于浸泡式蚀刻，通过鼓泡装置使蚀刻达到更好的效果。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1a示出现有技术中蚀刻栏具的结构以及蚀刻前玻璃基板外观的示意图；

图1b示出现有技术中蚀刻栏具的结构以及蚀刻后玻璃基板外观的示意图；

图2示出本实用新型实施例的蚀刻栏具的结构示意图；

图3示出本实用新型实施例的玻璃基板蚀刻原理图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。

在下文中描述了本实用新型的许多特定的细节，例如各个部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本实用新型。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本实用新型。

本实用新型可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。

图2示出本实用新型实施例的蚀刻栏具的结构示意图。蚀刻栏具100包括栏具本体110和侧齿120。