[实用新型]蚀刻栏具及蚀刻装置有效
| 申请号： | 201720642449.7 | 申请日： | 2017-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN206940736U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李小荣 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻栏具，包括栏具本体，所述栏具本体上设置有多个侧齿，相邻的两个所述侧齿用于定位待蚀刻的玻璃基板，其特征在于，所述侧齿具有镂空结构。
2.根据权利要求1所述的蚀刻栏具，其特征在于，所述侧齿具有在与所述栏具本体接触的底端到远离所述栏具本体的顶端的方向上逐渐减少的横截面积。
3.根据权利要求2所述的蚀刻栏具，其特征在于，所述侧齿为椎体。
4.根据权利要求3所述的蚀刻栏具，其特征在于，所述侧齿的横截面是多边形。
5.根据权利要求3所述的蚀刻栏具，其特征在于，所述侧齿为圆锥体。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的蚀刻栏具，其特征在于，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿与所述栏具本体形成小于90°的夹角。
7.根据权利要求6所述的蚀刻栏具，其特征在于，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿与所述栏具本体间的夹角为45°。
8.根据权利要求6所述的蚀刻栏具，其特征在于：在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述侧齿在所述栏具本体上的正投影的宽度为1mm。
9.根据权利要求6所述的蚀刻栏具，其特征在于：在垂直于所述玻璃基板的方向上，相邻的所述侧齿在所述栏具本体上的正投影间的距离为1.2mm。
10.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：权利要求1至9中任一权利要求所述的蚀刻栏具。
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