[实用新型]一种UV膜盘多工位搬送翻转机构有效

专利信息
申请号: 201720641119.6 申请日: 2017-06-05
公开(公告)号: CN206907746U 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 林宜龙;陈薇;黎满标;林清岚 申请(专利权)人: 深圳格兰达智能装备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司44202 代理人: 郝传鑫
地址: 518109 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 uv 膜盘多工位搬送 翻转 机构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及膜盘搬送机构,尤其涉及一种用于芯片剥离设备上的UV膜盘多工位搬送翻转机构。

背景技术

目前芯片生产商在剥离UV膜盘上的芯片操作时,需要经过上料、边料剥离、芯片剥离的工序,每次上料时需要人工从槽式料箱里把UV膜盘抽出并放到刮边料设备上进行边料剥离操作,然后由人工将剥离边料后的UV膜盘取出,再放到另一剥离芯片的设备上,这样不但增加了人力,而且在操作工程中还有可能造成芯片脱离或损伤,增加了企业的成本,降低了生产效率。

实用新型内容

为克服现有技术的不足,本实用新型的目的是:提供一种用于芯片剥离设备上的UV膜盘多工位搬送翻转机构,不仅能够实现膜盘的多工位搬送,而且在搬送的同时实现膜盘的自动翻转,从而节省人力,降低生产成本,并且提高生产效率。

为了解决背景技术中的技术问题,本实用新型提供了一种UV膜盘多工位搬送翻转机构,所述搬送翻转机构包括第一搬送组件、第二搬送组件和双轴运动平台,所述双轴运动平台包括沿水平方向的滑轨,所述第一搬送组件和第二搬送组件能够沿所述滑轨运动,实现多工位搬送;

所述第二搬送组件包括升降装置、夹料装置和旋转装置,所述旋转装置包括旋转气缸,所述夹料装置包括夹爪,所述旋转气缸驱动所述夹爪旋转,所述夹爪带动UV膜盘翻转。

优选地,所述双轴运动平台还包括支撑组件、驱动组件和传动带组件;

所述支撑组件支撑所述其他组件;

所述驱动组件包括第一驱动电机、第二驱动电机;

所述传动带组件包括第一传动带、第二传动带,所述第一传动带与所述第二传动带在竖直平面内平行且存在重叠区,所述第一驱动电机带动第一传动带运动,所述第二驱动电机带动第二传动带运动。

优选地,所述双轴运动平台还包括光电传感器,所述光电传感器设置于所述第一传动带与所述第二传动带的重叠区,用于感应所述重叠区是否有搬送组件。

具体地,所述第一驱动电机、第二驱动电机和旋转气缸能同时工作,带动第一搬送组件和第二搬送组件同时搬送,并在第二搬送组件进行搬送工作时实现对膜盘的翻转。

进一步地,所述第一搬送组件包括第一滑块、竖直方向的Z轴移动平台、支撑架、真空吸盘和真空压力开关,所述第一滑块能够沿所述滑轨运动,所述Z轴移动平台固定于第一滑块,所述支撑架与所述Z轴移动平台固定连接,所述支撑架设置有真空压力开关,所述真空吸盘安装在支撑架底面。

优选地,所述第二搬送组件的升降装置包括第二滑块、顶板、底板、升降气缸和导杆,所述第二滑块能够沿所述滑轨运动,所述顶板垂直固定于第二滑块,所述升降气缸垂直安装于所述顶板,所述导杆安装在顶板边缘并穿过顶板与底板固定连接;

所述夹料装置包括夹料气缸、夹料臂、夹爪,所述夹料气缸安装在所述底板上,所述夹爪与所述夹料臂连接,所述夹料气缸通过驱动夹料臂带动夹爪移动。

优选地,所述底板设置有沿水平方向的直线滑轨,所述夹料臂能够沿所述直线滑轨运动。

优选地,所述夹料气缸、夹料臂、夹爪和直线滑轨的数量都为两个,且对称设置在所述底板的两侧。

具体地,所述夹爪包括第一夹爪和第二夹爪,所述夹料臂包括第一夹料臂和第二夹料臂,所述第二夹爪与第二夹料臂连接,所述第二夹爪与第二夹料臂连接的一侧设有圆孔卡位,所述第二夹料臂设置有与所述圆孔卡位配合的球头柱塞,所述圆孔卡位与球头柱塞相配合使所述第二夹爪只能旋转0度或180度。

优选地,所述UV膜盘多工位搬送翻转机构的气源和电源由电气系统提供。

采用上述技术方案,本实用新型的UV膜盘多工位搬送翻转机构能够实现UV膜盘的多工位搬送,而且在搬送的同时实现UV膜盘的自动翻转,有效保护了UV膜盘上的芯片,避免芯片掉落和刮伤,并在10s以内完成一片出料,从而节省了人力,提高了产品质量,降低了生产成本,并且提升了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本实用新型实施例提供的UV膜盘多工位搬送翻转机构结构示意图;

图2是本实用新型实施例提供的UV膜盘多工位搬送翻转机构中的双轴运动平台的结构示意图;

图3是本实用新型实施例提供的UV膜盘多工位搬送翻转机构中的第一搬送组件的立体图及爆炸图;

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