[实用新型]一种UV膜盘多工位搬送翻转机构有效

专利信息
申请号: 201720641119.6 申请日: 2017-06-05
公开(公告)号: CN206907746U 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 林宜龙;陈薇;黎满标;林清岚 申请(专利权)人: 深圳格兰达智能装备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司44202 代理人: 郝传鑫
地址: 518109 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 uv 膜盘多工位搬送 翻转 机构
【权利要求书】:

1.一种UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述搬送翻转机构包括第一搬送组件(5)、第二搬送组件(6)和双轴运动平台(7),所述双轴运动平台(7)包括沿水平方向的滑轨(9),所述第一搬送组件(5)和第二搬送组件(6)能够沿所述滑轨(9)运动,实现多工位搬送;

所述第二搬送组件(6)包括升降装置、夹料装置和旋转装置,所述旋转装置包括旋转气缸(25),所述夹料装置包括夹爪,所述旋转气缸(25)驱动所述夹爪旋转,所述夹爪带动UV膜盘翻转。

2.根据权利要求1所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述双轴运动平台(7)还包括支撑组件、驱动组件和传动带组件;

所述支撑组件支撑所述其他组件;

所述驱动组件包括第一驱动电机(15)、第二驱动电机(12);

所述传动带组件包括第一传动带(14)、第二传动带(13),所述第一传动带(14)与所述第二传动带(13)在竖直平面内平行且存在重叠区(35),所述第一驱动电机(15)带动第一传动带(14)运动,所述第二驱动电机(12)带动第二传动带(13)运动。

3.根据权利要求2所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述双轴运动平台(7)还包括光电传感器(10),所述光电传感器(10)设置于所述第一传动带(14)与所述第二传动带(13)的重叠区(35),用于感应所述重叠区(35)是否有搬送组件。

4.根据权利要求3所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述第一驱动电机(15)、第二驱动电机(12)和旋转气缸(25)能同时工作,带动第一搬送组件(5)和第二搬送组件(6)同时搬送,并在第二搬送组件(6)进行搬送工作时实现对膜盘(16)的翻转。

5.根据权利要求2所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述第一搬送组件(5)包括第一滑块(8)、竖直方向的Z轴移动平台(19)、支撑架(36)、真空吸盘(17)和真空压力开关(18),所述第一滑块(8)能够沿所述滑轨(9)运动,所述Z轴移动平台(19)固定于第一滑块(8),所述支撑架(36)与所述Z轴移动平台(19)固定连接,所述支撑架(36)设置有真空压力开关(18),所述真空吸盘(17)安装在支撑架底面。

6.根据权利要求2所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:

所述第二搬送组件(6)的升降装置包括第二滑块(11)、顶板(37)、底板(38)、升降气缸(20)和导杆(22),所述第二滑块(11)能够沿所述滑轨(9)运动,所述顶板(37)垂直固定于第二滑块(11),所述升降气缸(20)垂直安装于所述顶板(37),所述导杆(22)安装在顶板(37)边缘并穿过顶板(37)与底板(38)固定连接;

所述夹料装置包括夹料气缸(23)、夹料臂、夹爪,所述夹料气缸(23)安装在所述底板(38)上,所述夹爪与所述夹料臂连接,所述夹料气缸(23)通过驱动夹料臂带动夹爪移动。

7.根据权利要求6所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述底板(38)设置有沿水平方向的直线滑轨(24),所述夹料臂能够沿所述直线滑轨(24)运动。

8.根据权利要求7所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述夹料气缸(23)、夹料臂、夹爪和直线滑轨(24)的数量都为两个,且对称设置在所述底板(38)的两侧。

9.根据权利要求8所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述夹爪包括第一夹爪(27)和第二夹爪(28),所述夹料臂包括第一夹料臂(39)和第二夹料臂(40),所述第二夹爪(28)与第二夹料臂(40)连接,所述第二夹爪(28)与第二夹料臂(40)连接的一侧设有圆孔卡位,所述第二夹料臂(40)设置有与所述圆孔卡位配合的球头柱塞(29),所述圆孔卡位与球头柱塞(29)相配合使所述第二夹爪(28)只能旋转0度或180度。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述UV膜盘多工位搬送翻转机构的气源和电源由电气系统提供。

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